测量杂质浓度的方法及存储杂质浓度测量程序的记录介质

发明专利无效专利

申请号：
CN98124931.0
IPC分类号：--
申请日期：
1998-11-17
申请人：
日本电气株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	测量杂质浓度的方法及存储杂质浓度测量程序的记录介质
申请号	CN98124931.0	申请日期	1998-11-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	1999-07-21	公开/公告号	CN1223467
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	日本电气株式会社	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	恩益禧电子股份有限公司	当前权利人	恩益禧电子股份有限公司
发明人	庄俊之
代理机构	中科专利代理有限责任公司	代理人	朱进桂

摘要

在半导体基片的相同位置处进行脉冲CV特性的测量和SIMS测量。对SIMS分布图用最小二乘方法进行校正,使得从SIMS分布图得到的一剂量与载流子浓度分布中得到的一剂量相一致;在引入多种杂质的情况下,进行脉冲CV测量和SIMS测量,根据每次引入杂质时的模拟分析,估算杂质浓度分布和载流子浓度分布。当引入的杂质浓度较高时,引入其导电型与前面杂质导电型相反的杂质。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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