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一种二维材料真空转移装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202210861991.7
  • IPC分类号:B65G47/74;B65G47/82;B65G47/24;G01N21/01;G01N21/13;G01N21/84
  • 申请日期:
    2022-07-20
  • 申请人:
    东莞市卓聚科技有限公司
著录项信息
专利名称一种二维材料真空转移装置
申请号CN202210861991.7申请日期2022-07-20
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2022-10-14公开/公告号CN115180385A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/74IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;7;4;;;B;6;5;G;4;7;/;8;2;;;B;6;5;G;4;7;/;2;4;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1;;;G;0;1;N;2;1;/;1;3;;;G;0;1;N;2;1;/;8;4查看分类表>
申请人东莞市卓聚科技有限公司申请人地址
广东省东莞市松山湖园区学府路1号12栋402室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市卓聚科技有限公司当前权利人东莞市卓聚科技有限公司
发明人陈汉阳;许智;王水元
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)代理人何世磊
摘要
本发明公开了一种二维材料真空转移装置,包括隔振平台、光学观察系统、精密操控台、控制器和真空系统,光学观察系统和精密操控台安装在隔振平台上;精密操控台包括腔外X轴电动位移台、腔外Y轴电动位移台、腔体转接板、下腔体、上腔体、真空促动器、旋转台腔外动力器、放气阀门、密封石英板、真空接线板、腔内X轴直线位移台、腔内Y轴直线位移台、腔内Z轴直线位移台、磁吸样品座、载玻片架子、真空旋转台、旋转过线装置、真空加热台。本发明能够解决现有技术腔体的体积较大、无法有效的实现XYZ三个轴串联驱动的技术问题。

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