产品检查的有效性验证装置以及其方法

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产品检查的有效性验证装置以及其方法\n技术领域\n[0001] 本发明涉及一种产品检查的有效性验证装置以及其方法，更详细而言，涉及一种检查产品后，能够确认所进行的检查是否有效的产品检查的有效性验证装置以及其方法。\n背景技术\n[0002] 广泛用于电子产业领域的基板、晶片等通过检查装置检查不良。例如，利用摄像机拍摄作为检查对象的产品，然后分为良好与不良。\n[0003] 在检查装置安置需要检查的对象并操作参数进行检查。但是，要确认检查是否进行得正常时，要从装置取出产品后放显微镜或放大镜上面确认检查不良的真伪，因此，非常不方便。在视觉装置(vision setting)未经正常验证的状态下开始进行一系列自动化工作而生产产品(自动运行)时，将会发生生产产品的检查错误，并降低检查装置的检查能力以及收率。由此，检查装置的检查能力及收率取决于一级检查设备操作者，而教育初级检查设备操作者则需要很长时间。\n发明内容\n[0004] 本发明是为解决所述问题点而提出的，其目的在于，提供一种能确认产品检查是否有效的产品检查的有效性验证装置以及其方法。\n[0005] 本发明的目的并不局限于此，对于未提及的其他目的，本领域的技术人员可通过以下记载将会明确理解。\n[0006] 为达成所述目的，根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置，其用于验证通过输送机传送而来的产品的不良检查是否有效，其中包括：多个影像处理模块，基于通过设置于所述输送机上的各摄像机拍摄的影像分别检测出所述产品的不良信息，根据所述不良信息分别判断所述产品的不良与否而生成个别检查结果值；中央处理模块，合计所述各个别检查结果值而生成所述产品的最终检查结果值，并合计所述各不良信息而生成整体不良信息；以及有效性验证模块，将所述整体不良信息显示于一个影像中，并与事先存储的检查基准书进行比较而验证所述最终检查结果值的有效性。\n[0007] 为达成所述目的，根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法，其中，包括：获取对检查对象产品进行拍摄的影像、所述产品的不良信息以及所述产品的个别检查结果值的步骤；合计所述个别检查结果值而生成所述产品的最终检查结果值，合计所述不良信息而生成整体不良信息的步骤；在所述产品的主影像显示所述整体不良信息的步骤；\n基于所述显示的不良信息与检查基准书进行比较而验证所述最终检查结果值的真伪的步骤；以及基于所述验证结果重新设定所述最终检查结果值，然后重新分类所述产品的步骤。\n[0008] 本发明的其他具体事项包含于详细说明及图中。\n[0009] 发明效果\n[0010] 根据本发明，能够验证是否有效地进行了特定产品的检查，并据此改变为自动运行模式，而能连续自动检查试料。\n[0011] 由于在自动运行模式之前能进行设定参数及确认设定值是否有错的过程，因此，能提高检查装置的可靠性。\n附图说明\n[0012] 图1是在输送机检查产品的示意图。\n[0013] 图2是根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置的构造框图。\n[0014] 图3是示出连接于图2的产品检查的有效性验证装置的设备的构造框图。\n[0015] 图4是示出图2的产品检查的有效性验证装置的传感器模块的位置的图。\n[0016] 图5是示出图2的产品检查的有效性验证装置的传感器模块的光束图案及输出特性文件的图。\n[0017] 图6是图2的产品检查的有效性验证装置的影像处理模块的详细构造框图。\n[0018] 图7是图2的产品检查的有效性验证装置的中央处理模块的详细构造框图。\n[0019] 图8是用于说明图2的产品检查的有效性验证装置的重新检查过程的图。\n[0020] 图9是图2的产品检查的有效性验证装置的有效性验证模块的详细构造框图。\n[0021] 图10是示出通过图2的产品检查的有效性验证装置获得的影像的图。\n[0022] 图11是示出根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法的顺序的顺序图。\n[0023] 图12是示出在执行图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法之后，在自动运行模式下的产品检查方法的顺序的顺序图。\n[0024] 图13是示出图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法的动作序列的图。\n[0025] 图14是示出在执行图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法之后，在自动运行模式下的产品检查方法的动作序列图。\n[0026] 符号说明：\n[0027] 100：产品检查的有效性验证装置，110：影像处理模块，120：中央处理模块，130：有效性验证模块，140：传感器模块，150：显示模块\n具体实施方式\n[0028] 本发明的优点、特征以及达成所述目的的方法通过附图及后述的详细说明将会明确。但是，本发明并不局限于以下所述的实施例而可体现为各种不同的形态，以下实施例用来使本发明更加明确，并对本发明所属领域的技术人员提供完整的技术范围。本发明仅由权利要求范围而决定。在整个说明书中，对相同的构成要素标注相同的符号。\n[0029] 第一、第二等序数的用语用于说明各种元件、构成要素及/或部分而使用，但所述元件、构成要素及/或部分并不限定于所述用语。所述用语仅用来区别一个元件、构成要素及/或部分与另一个元件、构成要素及/或部分。因此，以下所述的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想内也可为第二元件、第二构成要素或第二部分。\n[0030] 在本说明书中使用的术语是用来说明实施例而已，并不限定本发明。本说明书中，没有特别说明的情况下，单数形态也包括复数形态。说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“由～而成(made of)”，所提及的构成要素、步骤、动作及/或元件不排除一个以上的其他构成要素、步骤、动作及/或元件的存在或附加。\n[0031] 在没有其他定义时，在本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可使用为本发明所属领域的技术人员能共同理解的含义。而且，在没有特别定义时，不得夸张解释词典上词义。\n[0032] 以下，参照附图详细说明本发明。\n[0033] 图1是在输送机检查产品的示意图。图2是根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置的构造框图。\n[0034] 根据图1，产品P传送到输送机11，获取传感器(Grab sensor)142感应产品P，位于输送机11上部的摄像机21拍摄产品P，然后，分析所拍摄的产品P以检测出产品P的瑕疵。此处，获取传感器142是用于获取影像的传感器，每当感应到从输送机11传送而来的产品P时，摄像机21进行拍摄而获取影像，然后进行检查，经过设定时间后停止。获取影像时，根据要检查的产品P的瑕疵设置各种照明装置27。若影像处理模块110从获取传感器142收到获取影像的指令时，照明装置27和摄像机21被同步化而获取影像。\n[0035] 根据图2，根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置100验证对由输送机11传送而来的产品P的不良检查是否有效，并具备：多个影像处理模块110、中央处理模块\n120、有效性验证模块130、传感器模块140以及显示模块150等。此处，产品P包括基板、晶片等可基于通过摄像机21取得的影像确认不良的所有产品。优选地，产品P可为智能手机等便携设备的显示屏。\n[0036] 具体而言，根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置100，通过影像处理模块110基于设置在输送机11的各摄像机21拍摄的影像分别检测产品P的不良信息，根据所述不良信息分别判断所述产品P是否不良并生成个别检查结果值。通过中央处理模块120合计从多个影像处理模块110-1、110-2、…、110-n取得的个别检查结果值(即，对一个产品获得的多个检查结果值)，由此生成所述产品P的最终检查结果值，并且合计所述各不良信息而生成整体不良信息，然后通过有效性验证模块130将整体不良信息作为一个影像显示在显示模块150，并与事先存储的检查基准书进行比较而验证所述最终检测结果值的有效性。所述影像处理模块110、中央处理模块120以及有效性验证模块130可分别作为单独的模块设置或者作为一个模块设置。这对本领域的技术人员来说是明确的。根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置100通过多个传感器模块140感应由输送机11传送而来的玻璃使得每个摄像机21能够拍摄产品P例如玻璃(glass)，并通过显示模块150将不良信息显示于影像中。\n[0037] 根据图1及图2说明本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置100的动作为如下。当产品P经过设置于各检查阶段的输送机11的摄像机21时，影像处理模块110将检测出的个别检查结果值发送到中央处理模块120。产品P经过最后检查输送机，在最后影像处理模块110-n出判断结果，此时，产品P停止在等待判断有效性(Verify)的位置。若从最后影像处理模块110-n检查的个别检查结果值到达中央处理模块120，则合计对其产品P的个别检查结果值，由此，中央处理模块120具有最终检查结果值。举例而言，个别检查结果值中，若即使只有一个为不良，那么最终检查结果值成为不良，都良好的话，最终检查结果值成为良好。由于具有相比中央处理模块120位于上位的有效性验证模块130，因此，合计经检查的产品P的判断结果可以改变合计的最终判断结果。\n[0038] 即，自动化检查设备有检查设备和检查基准书或操作者之间确认检查有效性的验证过程，将其可称为验证(Verifier)模块。当发生合计产品P的判断结果时，有效性验证模块130自动联接到中央处理模块120获取结果影像，并显示经检查合计的产品P的整体影像，在整体影像中显示瑕疵(Defect)。若点击各瑕疵，则画面变大，并与检查基准书进行比较而判断产品P不良的真伪。根据在有效性验证模块130判断的产品P的验证结果，中央处理模块\n120将最终检查结果值再设定为良好(OK)、不良(NG)、再检查(Rework)等，中央处理模块120利用被变更的判断结果值向传送设备下达指令以自动分类产品P。当然，良好(OK)、不良(NG)、再检查(Rework)是分类产品P的一例，根据分类目的，可自如变更是对本领域的技术人员来说是明确的。\n[0039] 若通过有效性验证模块130已验证到对特定产品P检查的有效性，即已结束检查设备和检查基准书或操作者之间确认过程，则转换为自动运行模式并自动检查产品P，从而可以提高检查设备的收率。而且，在自动运行模式的自动运转检查之前可以进行检查参数的调谐工作及确认设定值的错误的过程，因此，能提高检查设备的可靠性，而且，产品检查的有效性验证装置100单独指导操作者而帮助设备运行。此处，自动运行模式是有效性验证模块130对检查产品P的最终检查结果值没有任何判断权的模式，若最后步骤的检查结束，则中央处理模式120对最终检查结果值自动进行判断。经过最后输送机之后，从各影像处理模块110没有收到个别检查结果值，或者个别检查结果值接收时间迟于检查设定时间，则中央处理模块120或传送设备自动做出重新检查的判断。对此在后面详细叙述。\n[0040] 图3是示出连接于图2的产品检查的有效性验证装置的设备的构造框图。\n[0041] 根据图3，产品检查的有效性验证装置100通过中央处理模块120连接于前装置200及传送设备10而发送或接收信息等，从而，通过中央处理模块120控制设备等。向传送设备\n10投入产品P时，与前装置200联机而中央处模块120向前装置200传送产品P的投入信号，由此向传送设备10投入产品P。在传送设备10中通过产品检查的有效性验证装置100将产品P再分成良好、不良、再检查而验证有效性之后将产品P移动到后装置300。例如，传送设备10是设置有摄像机21及照明装置27的图1的输送机11或搬送产品P的设备，中央处理模块120根据分类目的发送良好(OK)、不良(NG)、再检查(Rework)等分类信号。若中央处理模块120向传送设备10发送所述良好(OK)、不良(NG)、再检查(Rework)的最终判断结果，则包含于传送设备10的分类装置(省略图示)根据判断结果进行分类。当然，传送设备10可包括分类设备，但也可不包括分类设备，而单独设置分类设备。分类设备是吸附产品P并将其分类到良好(OK)、不良(NG)、再检查(Rework)的分类位置的设备(例如，X-Y-Z机械手)，可根据分类目的，构成为单独的输送机，或者可按照各种目的进行制作。\n[0042] 图4是示出图2的产品检查的有效性验证装置的传感器模块的位置的图。图5是示出图2的产品检查的有效性验证装置的传感器模块的光束图案及输出特性文件(output profile)的图。\n[0043] 如上所述，成为检查对象的产品P可包括智能手机或平板电脑等便携设备的显示用玻璃G。所述便携设备的显示用玻璃G可具备用于安装镜片等的孔H。但是，由于所述孔H，传感器模块140会发生感应错误的现象。\n[0044] 根据图4，用于感应由输送机11传送而来的所述玻璃G的多个传感器模块140可包括用于取得影像的获取传感器142及其他用途的传感器144以便各摄像机21拍摄玻璃G，输送机11内的各传感器142、144避开孔H而上下设置在玻璃G宽度的1/4的部位。通过改变所述各传感器142、144的位置，所述各传感器142、144能够与玻璃G的孔H的存在无关地始终检测出玻璃G。\n[0045] 根据图5，通过上下移动传感器模块140而调整光束图案(Beam Pattern)，从而，即便在玻璃G形成有孔H，传感器模块140也能感应玻璃G。即，在玻璃G形成有孔H时，将传感器模块140朝玻璃G侧移动而放大来自各传感器142、144的光束的输出，从而，可以事先防止感应错误。如图5的右侧所示，通过传感器模块140上下移动，获取传感器142能始终显示预定输出特性文件。\n[0046] 图6是图2的产品检查的有效性验证装置的影像处理模块的详细构造框图。\n[0047] 根据图6，影像处理模块110可包括：影像取得部112，从摄像机21取得影像；不良信息检查部114，从所述影像检测出所述不良信息；不良判断部116，基于所述不良信息判断所述产品P的不良与否而生成个别检查结果值。如上所述，影像处理模块110由多个构成，以将基于所获得影像的不良信息的判断结果作为最终判断的基础资料而使用。\n[0048] 图7是图2的产品检查的有效性验证装置的中央处理模块的详细构造框图。图8是用于说明图2的产品检查的有效性验证装置的重新检查过程的图。\n[0049] 根据图7，中央处理模块120可包括：合计信息生成部122，合计从影像处理模块110获得的各个别检查结果值V1、V2、…、V3而生成产品P的最终检查结果值，并合计从所述影像处理模块110获得的各不良信息而生成整体不良信息；中央控制部124，基于通过有效性验证模块130验证的验证结果值进行控制重新分类所述产品P。因此，中央处理模块120通过合计影像处理模块110的检查结果而分类产品P，对此的验证则在另外的有效性验证模块130进行验证，并根据有效性验证模块130的验证结果重新分类产品P。\n[0050] 此时，中央处理模块120可以决定重新检查产品P的判断。\n[0051] 具体而言，当从多个影像处理模块110-1、110-2、…、110-n接收的个别检查结果值中至少有一个需要重新检查时，中央处理模块120的中央控制部124可以进行控制以重新检查产品P的不良。并且，中央处理模块120的中央控制部124从多个影像处理模块110-1、110-\n2、…、110-n中的一个没有收到个别检查结果值，或比事先设定时间晚收到时，可以进行控制以重新检查产品P的不良。例如，若在中央处理模块120或传送设备10的控制装置检查处理时间过长或发生问题而得不到检测结果时，等到设定时间之后(即结果值为Null时)输出再检查结果值。如图8所示，通过传感器142感应后，利用玻璃G的所设定的长度值或所设定的时间值开闭(ON/OFF)控制感应检测。通过传感器142感应后，超过所设定的零结果时间(即，Null Result Time)时可通过重新检查输出结果值。为了便于理解，图8中的未说明符号所表示意义简单说明为如下：d＝检查空间的距离；a+b＝在验证模式下接收感应而停止传感器的距离；c+d+e＝在接收感应之后收到结果值之前停止获取传感器的传感器的感应距离；f＝最终结果值输出计数器(未图示)的传感器位置(在c+d+e位置的传感器中也可以进行输出计数)；α＝接收获取传感器的感应而获取影像并对影像进行处理的距离(或时间)，也即检查结果判断时间；β＝当检查结果值比设定时间输出得晚时(无结果值时)判定为再检查(Rework)的时间(Null Result Time)。图9是图2的产品检查的有效性验证装置的有效性验证模块的详细构造框图。\n[0052] 根据图9，有效性验证模块130可包括：存储部132，存储检查基准书；验证控制部\n134，进行控制使得在显示模块150显示整体不良信息，然后与所述检查基准书进行比较以验证最终检查结果值的有效性。举例而言，有效性验证模块130可对所要检查的产品的检查基准书进行数据化(DB)而包括不良及良好的影像，而且该被数据化的影像也可以反映中央处理模块120合计产品P的最终检查结果值而自动地变更。所述有效性验证模块130可由物理结构构成，还可以由虚拟运行程序构成。\n[0053] 图10是示出通过图2的产品检查的有效性验证装置获得的影像的图。\n[0054] 根据图10，在显示模块150的屏幕155显示通过产品检查的有效性验证装置100处理的影像Ig。\n[0055] 影像Ig的多个瑕疵f中选择一个瑕疵f`时，画面变大，操作者边看检查基准书边确认瑕疵而进行判断。根据判断结果，有效性验证模块130改变中央处理模块120的最终结果值，并重新分类产品P。若验证(Verifier)模式下已做出验证，则转换为自动运行模式，此时，无需有效性验证模块130，可通过影像处理模块110与中央处理模块120自动进行检查。\n[0056] 图11是示出根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法的顺序的顺序图。\n[0057] 根据图11，根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法，包括：获取对检查对象产品进行拍摄的影像、所述产品的不良信息以及所述产品的个别检查结果值的步骤(S110)；合计所述获取的个别检查结果值而生成所述产品的最终检查结果值，合计所述不良信息而生成整体不良信息的步骤(S120)；在所述产品的主影像(master image)显示所述整体不良信息的步骤(S130)；基于所显示的不良信息与检查基准书进行比较而验证所述最终检查结果值的真伪的步骤(S140)；基于所述验证结果重新设定所述最终检查结果值，然后重新分类所述产品的步骤(S150)。\n[0058] 此处，若在生成整体不良信息的步骤(S120)中没有收到所述个别检查结果值或收到的时间比事先设定时间晚，则可以重新进行所述产品的不良检查。\n[0059] 在重新分类产品的步骤(S150)中将产品可分类为不良(NG)、良好(OK)、再检查(Rework)。此时，不良(NG)表示产品不良，良好(OK)表示产品良好，再检查(Rework)表示没有确认到良好与不良。\n[0060] 藉此，能再次验证产品检查的有效性，其可称为验证模式。在验证模式下对特定产品已结束检查设备和检查基准书或操作者之间的确认过程，则转换为自动运行模式而连续自动检查产品，从而可以提高自动检查设备的收率。而且，可以在自动运行模式的自动检查之前进行调整检查参数的工作、确认设定值的错误的过程，因此，可以提高检查设备的可靠性，个别指导操作者而操作设备。\n[0061] 图12是示出在执行图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法之后，在自动运行模式下的产品检查方法的顺序的顺序图。\n[0062] 若已验证产品，即已完成验证模式，则可不执行与检查基准书进行比较而验证的步骤(S140)(图11)的情况下反复进行图11的各步骤。图12中，获取对检查对象产品进行拍摄的影像、所述产品的不良信息以及所述产品的个别检查结果值(S210)；合计所述个别检查结果值而生成所述产品的最终检查结果值，合计所述不良信息而生成整体不良信息(S220)；在所述产品的主影像(master image)显示所述整体不良信息(S230)；基于所述最终检查结果值分类所述产品(S240)。\n[0063] 而且，由于没有进行对产品的检查结果值进行验证的程序，因此完成对最后影像的检查后，仅通过合计的结果即最终检查结果值自动判断不良。\n[0064] 图13是示出图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法的动作序列的图。图14是示出在执行图11的根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证方法之后，在自动运行模式下的产品检查方法的动作序列图。\n[0065] 根据图13，在验证模式时(①)，若输送机11被驱动(②)而感应到玻璃G，则输入计数(③)即，对感应的产品p(即，玻璃G)进行数数。第一个玻璃G经过第一个获取传感器142时检测下降边缘(Edge)，经过设定时间后停止在输送机11的下一个位置，第二至第四个玻璃G同样地进行动作，第一个玻璃G经过最后获取传感器142之后，输送机停止，在各输送机的摄像机21能进行拍摄的位置都放置有玻璃G，将玻璃G的个别检查结果值从影像处理模块110传送到中央处理模块120(④～⑧)。当个别检查结果值到达中央处理模块120时，有效性验证模块130自动联接中央处理模块120而显示整体影像，并显示影像中检测的瑕疵(Defect)(⑨)。操作者边看检查基准书边确认瑕疵而做出判断结果(⑩)。判断结果出来后，有效性验证模块130改变中央处理模块120的最终检查结果值( )。中央处理模块120向传送设备10发送被验证而改变的最终检查结果值，然后下达分类(良好、不良、再检查)指令( )。\n[0066] 然后，连续检查所投入的玻璃G并验证检查的有效性，有效性验证结束之后转换为自动运行模式自动进行检查。图14示出自动运行模式下的自动检查。\n[0067] 根据图14，不是验证模式而是自动运行模式时(①)，若输送机11被驱动(②)而感应到玻璃G，则输入计数(③)。第一个玻璃G经过第一个获取传感器142后，接着，第二至第四个玻璃G同样进行动作，第一个玻璃G经过最后获取传感器142之后，在各输送机的摄像机21能进行拍摄的位置都放置有玻璃G，在影像处理模块110处理玻璃G的个别检查结果值并传送到中央处理模块120(④～⑧)。即中央处理模块120从影像处理模块110接收个别检查结果值，不需要有效性验证模块130的判断而连续进行检查判断，所以，输送机11不停止。若从影像处理模块110至中央处理模块120在设定时间内没有到达结果值，则传送到重新检查。\n若影像处理模块110的个别检查结果值到达中央处理模块120，则中央处理模块120合计各个别检查结果值并计算最终检查结果值(⑨)，中央处理模块120向传送设备10发送所述最终检查结果值，然后下达分类(良好、不良、再检查)指令(⑩)。\n[0068] 另外，根据本发明的一实施例的产品检查的有效性验证装置以及其方法，可利用软件或硬件构成为一个模块，上述的本发明的实施例可由可在电脑执行的程序实现，并可通过利用电脑可读取记录介质使所述程序运行的通用电脑体现。所述电脑可读取的记录介质是以ROM、软盘、硬盘等磁性介质、CD、DVD等光学介质以及利用互联网的传送等的载波等形态体现。电脑可读取记录介质分散于通过互联网联接的电脑系统，以分散方式存储电脑可读取的编码并执行。\n[0069] 为了便于理解，对图13、图14中的未说明符号所表示意义简单说明为如下：从n至F1为止，按照获取传感器的各个位置，根据传送机的移动而发生先进先出(first-in first-out)的结果值；Fn为所投入的第n个产品(例如，玻璃)的获取信号；Gn为第n个产品(例如，玻璃)的检测结果值。\n[0070] 以上，虽参照附图说明了本发明的实施例，但是，应理解本发明所属领域的技术人员在本发明的技术思想或必要特征范围内可以实施为其他具体形态。因此，以上所述实施例都是举例说明而已，并不限定本发明。