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具有氧化涂层的抗腐蚀、含钇金属的等离子体室部件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880122060.3
  • IPC分类号:C23C14/16;H01L21/302
  • 申请日期:
    2008-12-10
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称具有氧化涂层的抗腐蚀、含钇金属的等离子体室部件
申请号CN200880122060.3申请日期2008-12-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-12-01公开/公告号CN101903558A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/16IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;1;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;2查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人詹尼弗·Y·孙;徐理;肯尼思·S·柯林斯;托马斯·格瑞斯;段仁官;赛恩·撒奇
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人赵飞;南霆
摘要
本发明描述一种可抵抗由化学活性等离子体所导致的侵蚀或腐蚀的物体以及制造该物体的方法。该物体包括金属或金属合金衬底,该衬底的表面上具有涂层,且该涂层为金属或金属合金的氧化物。该氧化物涂层的结构在本质上为柱状。构成氧化物的结晶的晶粒尺寸在氧化物涂层的暴露表面处比氧化物涂层与金属或金属合金衬底之间的界面处大,其中氧化物涂层在氧化物涂层与金属或金属合金衬底之间的界面处呈压迫状态。一般来说,金属选自由钇、钕、钐、铽、镝、铒、镱、钪、铪、铌、或其组合所组成的群组。

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