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设置铍铝合金膜的多层压电基片及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811552537.3
  • IPC分类号:H03H9/02;H03H9/145;H03H3/02
  • 申请日期:
    2018-12-18
  • 申请人:
    北方民族大学
著录项信息
专利名称设置铍铝合金膜的多层压电基片及其制备方法
申请号CN201811552537.3申请日期2018-12-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-04-19公开/公告号CN109660225A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03H9/02IPC分类号H;0;3;H;9;/;0;2;;;H;0;3;H;9;/;1;4;5;;;H;0;3;H;3;/;0;2查看分类表>
申请人北方民族大学申请人地址
宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北街204号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北方民族大学当前权利人北方民族大学
发明人肖学峰;张学锋;雷顺京;张欢;韦海成
代理机构宁夏合天律师事务所代理人周晓梅;孙彦虎
摘要
本发明提出一种设置铍铝合金膜的多层压电基片,包括依次设置的压电基体层、导电层,所述导电层为铍铝合金膜,本发明采用铍铝合金作为溅射膜,铍为六方晶系,易于与相同晶格结构的压电基体层结合,而合金中的铝则可以作为传声的材料,提高其传声效率,如此利用铍解决了铝膜与压电基片之间由于晶格结构不同而导致的结合不良的问题;并且,合金膜与铝膜均为金属膜,二者依靠金属键结合,结合状态良好,不易脱落。

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