一种制备溅射靶材料的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200610053716.3
IPC分类号：C21D8/00;C22F1/00;C23C14/34
申请日期：
2006-09-29
申请人：
宁波江丰电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种制备溅射靶材料的方法
申请号	CN200610053716.3	申请日期	2006-09-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2007-03-14	公开/公告号	CN1928129
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C21D8/00	IPC分类号	C;2;1;D;8;/;0;0;;;C;2;2;F;1;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	宁波江丰电子材料有限公司	申请人地址	浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司	当前权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人	姚力军;潘杰
代理机构	宁波诚源专利事务所有限公司	代理人	徐雪波

摘要

一种制备溅射靶材料的方法，其包括：利用塑性加工和热处理工艺相互结合作用，把铝或铝合金制备成溅射靶材料，使用空气锤作为塑性加工设备，通过限程备件标准块控制材料变形量，通过受力面的变化控制材料变形方向，过程温度通过表面温度探测器进行监测。与现有技术相比，本发明的优点在于通过空气锤这种可控性塑性加工设备的运用，不仅使得加工设备和加工工艺的重复性、可控性得以保证，而且加工方式简单，设备投入小，效率也较高，对操作人员的要求也更为简单；同时通过与热处理工艺的不同组合控制，可以实现对材料晶粒大小的控制，得到人们所要求的晶粒大小和组织织构取向。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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