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集成电路收料装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220104938.4
  • IPC分类号:H01L21/00
  • 申请日期:
    2012-03-20
  • 申请人:
    杭州长川科技有限公司
著录项信息
专利名称集成电路收料装置
申请号CN201220104938.4申请日期2012-03-20
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人杭州长川科技有限公司申请人地址
浙江省杭州市滨江区滨安路1180号华业高科技产业园3号楼6楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人杭州长川科技股份有限公司当前权利人杭州长川科技股份有限公司
发明人叶键波;韩笑;王维
代理机构杭州杭诚专利事务所有限公司代理人尉伟敏
摘要
本实用新型涉及集成电路制造设备领域,目的是提供一种效率高且适用于集成电路流水化生产线的集成电路收料装置。一种集成电路收料装置,所述的集成电路收料装置包括底座、两个相对设置的料管架、收料夹紧机构、位于两个料管架之间的送管机构、顶管机构和顶管驱动机构;所述的顶管机构和收料夹紧机构各位于一个料管架处;所述的料管架、送管机构、顶管机构和收料夹紧机构分别与底座固定连接。该集成电路收料装置效率高且适用于集成电路流水化生产线。

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