加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种均热板及具有该均热板的微电子器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710358485.5
  • IPC分类号:H01L23/427;H01L23/367
  • 申请日期:
    2017-05-19
  • 申请人:
    广东工业大学
著录项信息
专利名称一种均热板及具有该均热板的微电子器件
申请号CN201710358485.5申请日期2017-05-19
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2017-07-28公开/公告号CN106992161A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/427IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;2;7;;;H;0;1;L;2;3;/;3;6;7查看分类表>
申请人广东工业大学申请人地址
广东省广州市越秀区东风东路729号大院 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东工业大学当前权利人广东工业大学
发明人王长宏;田中轩;郑焕培
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人罗满
摘要
本发明公开了一种均热板,包括底板、顶板和连接于所述顶板与所述底板之间的侧板,所述顶板、所述底板和所述侧板之间围成密闭空腔,所述密闭空腔内填充有蒸发工质;所述顶板的内表面设置有阵列排布的微米级凸台,所述凸台的侧壁与所述顶板的内表面均为超疏水表面,且所述顶板外接正电压,所述底板接地。本发明还公开了一种包括上述均热板的微电子器件。应用本发明提供的均热板及微电子器件,无需传统吸芯结构,能减少轴向热阻,由于电喷加速液体回流,能有效提高均热板的毛细极限和携带极限,从而提高整体换热能力。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供