加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

切断方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200780034327.9
  • IPC分类号:H01L21/304;B24B27/06;B28D5/04
  • 申请日期:
    2007-08-22
  • 申请人:
    信越半导体股份有限公司
著录项信息
专利名称切断方法
申请号CN200780034327.9申请日期2007-08-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-08-26公开/公告号CN101517711
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
?
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;B;2;4;B;2;7;/;0;6;;;B;2;8;D;5;/;0;4查看分类表>
申请人信越半导体股份有限公司申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人信越半导体股份有限公司当前权利人信越半导体股份有限公司
发明人大石弘;仲俣大辅
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司代理人冯志云;郑特强
摘要
本发明提供一种切断方法,该切断方法是将钢线卷绕于多个附凹沟滚筒,一边供给切断用浆液至该附凹沟滚筒,一边使上述钢线行进地压抵晶棒,将该晶棒切断成晶片状的方法,该方法控制上述切断用浆液的供给温度,以至少在上述晶棒的切断结束时使上述切断用浆液的供给温度与晶棒的温度成为30℃以上的方式来进行切断。由此,提供一种切断方法,其在利用线锯切断晶棒时,减轻在晶棒的切断结束时附近的晶棒的急剧冷却,并因此可抑制纳米形貌的发生。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供