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薄膜晶体管及其制造方法、显示基板和显示装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510063966.4
  • IPC分类号:H01L29/786;H01L29/10;H01L21/336
  • 申请日期:
    2015-02-06
  • 申请人:
    合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
著录项信息
专利名称薄膜晶体管及其制造方法、显示基板和显示装置
申请号CN201510063966.4申请日期2015-02-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-04-29公开/公告号CN104576761A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/786
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;6;;;H;0;1;L;2;9;/;1;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6查看分类表>
申请人合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请人地址
安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司当前权利人合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
发明人赵娜;许徐飞;史高飞
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人汪洋
摘要
本发明提供了一种具有宽长比增加的沟道结构的薄膜晶体管及其制造方法,以及包括该薄膜晶体管的显示基板和显示装置。该薄膜晶体管包括层叠在衬底基板上的栅极、栅极绝缘层和有源层,在有源层中形成有源极区域、漏极区域和沟道区域,其中有源层的面向栅极绝缘层的表面在沟道区域中至少部分地形成有非平面结构,以在沟道区域的宽度方向上形成非平面沟道结构。

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