一种提高三氯氢硅品质的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202111158816.3
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2021-09-30
申请人：
四川永祥多晶硅有限公司

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著录项信息

专利名称	一种提高三氯氢硅品质的方法
申请号	CN202111158816.3	申请日期	2021-09-30
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-30	公开/公告号	CN113716570A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	四川永祥多晶硅有限公司	申请人地址	四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	四川永祥多晶硅有限公司	当前权利人	四川永祥多晶硅有限公司
发明人	官健;刘逸枫;罗轩;袁野;钟国俊
代理机构	成都天嘉专利事务所（普通合伙）	代理人	向丹

摘要

本发明公开了一种提高三氯氢硅品质的方法，将合成精馏中提纯三氯氢硅时脱重得到的三氯氢硅重组分与四氯化硅产品液混合，依次经树脂吸附柱、反歧化树脂柱后，再作为合成精馏原料循环使用，以控制合成精馏得到的精制三氯氢硅物料中硼含量≤0.06ppb、磷含量为0.2～0.5ppb、有机硅含量为1～4ppm。本发明通过将合成精馏中循环的三氯氢硅重组分与四氯化硅混合，再进行脱硼磷等杂质处理后，再重复用于合成精馏以得到精制三氯氢硅，具有提升精制三氯氢硅及多晶硅产品质量的目的。

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