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一种实现基于BCB的磷化铟微波电路多层互联方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310728903.7
  • IPC分类号:H01L21/60
  • 申请日期:
    2013-12-26
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第五十五研究所
著录项信息
专利名称一种实现基于BCB的磷化铟微波电路多层互联方法
申请号CN201310728903.7申请日期2013-12-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-05-21公开/公告号CN103811364A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/60IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;0查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第五十五研究所申请人地址
江苏省南京市中山东路524号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第五十五研究所当前权利人中国电子科技集团公司第五十五研究所
发明人王元;程伟;赵岩;牛斌;刘海琪;陈征
代理机构南京君陶专利商标代理有限公司代理人沈根水
摘要
本发明是一种实现基于BCB的磷化铟微波电路多层互联方法,包括以下步骤:1)在磷化铟(InP)衬底上光刻一次布线图形,通过蒸发金属并进行剥离,实现一次布线金属图形化;2)旋涂BCB(Benzocyclobutene),并在氮气氛围下采用高温方式使其固化;3)在固化后的BCB上光刻互联通孔图形,以光刻胶为掩膜,通过干法刻蚀实现BCB通孔的图形化,最终通过电镀的方式实现多层金属的互联;4)光刻二次布线图形,通过电镀方式实现互联通孔的填充及二次互联图形的金属化,实现不同金属层之间的互联。优点:可增加多层互联的可靠性,提高对不同厚度的BCB多层互联工艺的适应性,降低InP基微波电路的互联损耗。

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