XY工作台动作执行器

发明专利有效专利

申请号：
CN200880018131.5
IPC分类号：G12B5/00;B23Q1/62
申请日期：
2008-05-27
申请人：
THK株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	XY工作台动作执行器
申请号	CN200880018131.5	申请日期	2008-05-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-03-24	公开/公告号	CN101681683
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G12B5/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G2 核子学 G12 仪器的零部件 G12B 仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件 G12B5/00 仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的	IPC分类号	G;1;2;B;5;/;0;0;;;B;2;3;Q;1;/;6;2查看分类表>
申请人	THK株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	THK株式会社	当前权利人	THK株式会社
发明人	木村吉宏;浅生利之;石井正志
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	史雁鸣

摘要

一种XY工作台动作执行器，能够以充分的推力使可动板(5)在XY平面内自由移动且能够定位，同时能够简单地且以低成本制作，所述XY工作台动作执行器通过叠置固定板(2)、中间板(4)、可动板(5)构成，其中，在上述固定板(2)和中间板(4)之间配置相对于上述固定板(2)向X方向推动中间板(4)的X方向驱动机构，另一方面，在上述中间板(4)和可动板(5)之间设置相对于中间板(4)向Y方向推动可动板(5)的Y方向驱动机构(7)，通过将形成为大致槽状的固定板(2)及可动板(5)和大致平板状的中间板(4)叠置，在固定板(2)和中间板(4)之间形成了上述X方向驱动机构的收容室(60)，在中间板(4)和可动板(5)之间形成了上述Y方向驱动机构的收容室(70)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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