一种用于多晶硅的金刚线切割装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201820829737.8
IPC分类号：B28D5/04;B28D7/00
申请日期：
2018-05-31
申请人：
扬州续笙新能源科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于多晶硅的金刚线切割装置
申请号	CN201820829737.8	申请日期	2018-05-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕 B28D5/04 用非旋转式工具的，例如往复式工具	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;0查看分类表>
申请人	扬州续笙新能源科技有限公司	申请人地址	江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州续笙新能源科技有限公司	当前权利人	扬州续笙新能源科技有限公司
发明人	张伟;闫立
代理机构	南京苏科专利代理有限责任公司	代理人	董旭东

摘要

本实用新型公开了多晶硅片切割领域内的一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法，该装置包括放线辊和收线辊，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；该方法包括步骤：放线辊储线段向收线辊放线，收线轮向放线轮放线，收线轮继续向放线轮放出金刚线，同时晶托下降，晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片，放线轮向收线轮放线，收线轮向放线辊储线段放线，放线辊储线段再向收线辊储线段放线，放线辊储线段空跑线。本实用新型通过收线轮向放线轮输送金刚线，确保切割晶棒第一刀均是采用新线，避免产生入刀TTV，入刀翘曲和线痕等问题。

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