改进的用于静电晶片夹紧装置的压盘

发明专利无效专利

申请号：
CN03815047.6
IPC分类号：H02N13/00;H01L21/31
申请日期：
2003-04-30
申请人：
特瑞克股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	改进的用于静电晶片夹紧装置的压盘
申请号	CN03815047.6	申请日期	2003-04-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-08-31	公开/公告号	CN1663105
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02N13/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02N 其他类目不包含的电机 H02N13/00 应用静电吸引力，例如Johnson Rahbek效应的离合器或保持装置	IPC分类号	H;0;2;N;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;1查看分类表>
申请人	特瑞克股份有限公司	申请人地址	美国纽约州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	特瑞克股份有限公司	当前权利人	特瑞克股份有限公司
发明人	H·亚那吉答;H·马初巴拉;Y·奥库哈拉;S·奥基;N·卡瓦斯马;B·T·维廉姆斯;T·油哈拉
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	茅翊忞

摘要

本发明揭示了一种用于静电的晶片夹紧装置(10)的压盘(12)，包括：一介电材料的压盘体(12)；以及扩散在介电材料内的导电材料的颗粒，由于导电颗粒的扩散使压盘(12)具有这样一种静电电容，即，不管周围湿度如何，使压盘(12)的夹紧力增加。根据本发明的另一方面，压盘(12)的厚度被减小一定量，以致在由电压源(28)施加的电压值减小时足以保持夹紧力不变，以及消除在压盘上任何残余的电压和增加晶片(38)释放的速度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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