高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811306738.5
IPC分类号：G01N21/95;G01N21/958
申请日期：
2018-11-05
申请人：
西安工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法
申请号	CN201811306738.5	申请日期	2018-11-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-01	公开/公告号	CN109297987A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;8查看分类表>
申请人	西安工业大学	申请人地址	陕西省西安市未央区学府中路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安工业大学	当前权利人	西安工业大学
发明人	高爱华;侯劲尧;刘卫国;秦文罡;韦瑶
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司	代理人	黄秦芳

摘要

本发明涉及一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法，该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成，所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头，所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件，反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本发明的测量装置及测量方法，克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。

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