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温梯法旋转坩埚晶体生长系统

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200620162407.5
  • IPC分类号:C30B11/00
  • 申请日期:
    2006-12-29
  • 申请人:
    万尤宝
著录项信息
专利名称温梯法旋转坩埚晶体生长系统
申请号CN200620162407.5申请日期2006-12-29
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C30B11/00IPC分类号C;3;0;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人万尤宝申请人地址
浙江省嘉兴市大树金港湾小区4栋604 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人万尤宝当前权利人万尤宝
发明人万尤宝
代理机构上海开祺知识产权代理有限公司代理人季良赳;杨润周
摘要
一种温梯法旋转坩埚晶体生长系统,包括晶体炉,坩埚及其支撑装置和温度控制装置,其中晶体炉包括炉体、发热体和炉膛;炉体从外到内依次包括外壳、保温棉层、保温砖层和耐火层;坩埚支撑装置包括升降台,位于升降台上的多个坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管,与升降台连接的引下装置,与引下装置连接的升降电机和电源,导向管支架和导向管之间设置有紧固装置,坩埚置于坩埚导向管内;其中所述的坩埚支撑装置是可旋转多坩埚支撑装置,所述的耐火层高度为炉膛总高度的2/3-5/6;所述的发热体位于炉膛1/4-1/2高度处。本实用新型能促进晶体掺杂,并用使掺杂能够均匀。

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