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一种薄膜生产设备

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201320719392.8
  • IPC分类号:C23C16/50;C23C16/27
  • 申请日期:
    2013-11-14
  • 申请人:
    中山市创科科研技术服务有限公司
著录项信息
专利名称一种薄膜生产设备
申请号CN201320719392.8申请日期2013-11-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/50IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;0;;;C;2;3;C;1;6;/;2;7查看分类表>
申请人中山市创科科研技术服务有限公司申请人地址
广东省中山市火炬开发区创业大厦229号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中山市创科科研技术服务有限公司当前权利人中山市创科科研技术服务有限公司
发明人秦文锋;杨文志;李学军
代理机构中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙)代理人吴剑锋
摘要
本实用新型公开了一种薄膜生产设备,包括有反应室,其特征在于:在所述的反应室下方设有气体入口,在所述反应室内与所述气体入口对应的位置上设有阴极,在所述的阴极上设有多个透气孔,在所述阴极上方设有水冷阳极,基片设置在水冷阳极上,所述的水冷阳极与阴极通过导线相连接。本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足之处,提供一种结构简单,制作方便,生产成本低,用于薄膜生产设备。

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