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用于晶片的测试分选设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110132754.9
  • IPC分类号:B07C5/34;B07C5/36;G01R31/26;G01N21/89
  • 申请日期:
    2011-05-20
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称用于晶片的测试分选设备
申请号CN201110132754.9申请日期2011-05-20
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2012-11-21公开/公告号CN102784760A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B07C5/34IPC分类号B;0;7;C;5;/;3;4;;;B;0;7;C;5;/;3;6;;;G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;G;0;1;N;2;1;/;8;9查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京市经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人舒晓芬
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)代理人黄德海
摘要
本发明公开了一种用于晶片的测试分选设备,所述测试分选设备包括:连接缓冲冷却模块,所述连接缓冲冷却模块用于接收和传输晶片并冷却所述晶片;测试模块,所述测试模块与所述连接缓冲冷却模块连接,用于接收并测试所述连接缓冲冷却模块所传输的晶片;以及分选模块,所述分选模块与所述测试模块连接,用于对经过所述测试模块测试之后的晶片进行分选。根据本发明实施例的用于晶片的测试分选设备具有结构简单、制造成本低、控制过程简单的优点。

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