气体质量流量控制器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN96209896.5
IPC分类号：--
申请日期：
1996-05-10
申请人：
北京圣业科技发展有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	气体质量流量控制器
申请号	CN96209896.5	申请日期	1996-05-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	北京圣业科技发展有限公司	申请人地址	北京市海淀区中国人民大学静园22楼31号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京圣业科技发展有限公司	当前权利人	北京圣业科技发展有限公司
发明人	应为忠;李然
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种气体质量流量控制器，其主要特征是在中空的基体内部设置一限流器，在基体上部采用毛细管三绕组式温度传感器，中间绕组为卡马斯加热圈，相对称的两侧绕组为热敏材料线圈，根据气体分子流过毛细管产生的温度，输出电阻差值，经电量转换电路，输出标准信号，实现测量和数字显示气体质量流量，再经控制电路和电磁调节阀，实现精密控制气体质量流量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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