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压电振子以及压电振动装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201580003676.9
  • IPC分类号:H03H9/17;H03H9/02
  • 申请日期:
    2015-01-15
  • 申请人:
    株式会社村田制作所
著录项信息
专利名称压电振子以及压电振动装置
申请号CN201580003676.9申请日期2015-01-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-08-17公开/公告号CN105874709A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03H9/17IPC分类号H;0;3;H;9;/;1;7;;;H;0;3;H;9;/;0;2查看分类表>
申请人株式会社村田制作所申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社村田制作所当前权利人株式会社村田制作所
发明人竹山佳介;中村大佐;龟田英太郎;开田弘明
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人李洋;尹文会
摘要
本发明提供压电振子以及压电振动装置。能够高效地进行压电振子中的共振频率的调整。压电振子具备:第一电极以及第二电极;压电膜,其形成于第一电极与第二电极之间,并且具有与第一电极对置的第一面;以及第一调整膜以及第二调整膜,它们经由第一电极与压电膜的第一面对置地形成,第一调整膜在第一面中的至少第一区域与压电膜重叠,第二调整膜在第一面中的至少与第一区域不同的第二区域与压电膜重叠,通过第一区域以及第二区域覆盖第一面的大致全域,第二区域是在该压电振子的振动时位移比第一区域大的区域,第二调整膜由蚀刻所导致的质量减少的速度比第一调整膜快的材料形成。

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