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金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201880037348.4
IPC分类号：C07C251/08;C07F5/00;C23C16/18;C23C16/30;H01L21/285
申请日期：
2018-05-28
申请人：
株式会社ADEKA

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法
申请号	CN201880037348.4	申请日期	2018-05-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-01-17	公开/公告号	CN110709381A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07C251/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07C 无环或碳环化合物（高分子化合物入C08；有机化合物的电解或电泳生产入C25B 3/00，C25B 7/00） C07C251/00 氮原子以双键与碳架相连接的含氮化合物（重氮化合物入C07C 245/12）〔5〕 C07C251/02 含有亚胺基团〔5〕 C07C251/04 带有与氢原子或非环碳原子连接的亚胺基的碳原子〔5〕 C07C251/06 连接在饱和碳架的碳原子上〔5〕 C07C251/08 非环的〔5〕	IPC分类号	C;0;7;C;2;5;1;/;0;8;;;C;0;7;F;5;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;1;8;;;C;2;3;C;1;6;/;3;0;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;5查看分类表>
申请人	株式会社ADEKA	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社ADEKA	当前权利人	株式会社ADEKA
发明人	樱井淳;畑濑雅子;冈田奈奈;西田章浩
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	吴宗颐

摘要

本发明提供由下述通式(1)表示的金属醇盐化合物:(式中，R1和R2各自独立地表示碳数1～4的烷基，R3表示碳数2或3的烷基，M表示钪原子、钇原子、镧原子、铈原子、镨原子、钕原子、钷原子、钐原子、铕原子、钆原子、铽原子、镝原子、钬原子、铒原子、铥原子、镱原子或镥原子，n表示M表示的原子的价数。)

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