可更换晶片支撑托架

发明专利有效专利

申请号：
CN201380035102.0
IPC分类号：--
申请日期：
2013-05-06
申请人：
安格斯公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	可更换晶片支撑托架
申请号	CN201380035102.0	申请日期	2013-05-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-05-27	公开/公告号	CN104662650A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	安格斯公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	恩特格里斯公司	当前权利人	恩特格里斯公司
发明人	马修·富勒;约翰·佰恩斯
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	齐杨

摘要

一种晶片容器，包括壳体部，该壳体部包括顶壁、底壁、一对侧壁、后壁、以及与后壁相对的门框架，该门框架限定正面开口，以及包括两个侧部晶片支架的晶片支撑结构，每一个侧部晶片支架包括可拆卸的托架。本发明包括借助于更换该可拆卸的托架来维护晶片容器。本发明包括将用于垂直地运输大直径晶片的运输容器转换成用于在制造设施中水平地存储晶片的容器，用于自动拾取晶片进行处理。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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