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铁电晶体管

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN00813458.8
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2000-09-15
  • 申请人:
    因芬尼昂技术股份公司
著录项信息
专利名称铁电晶体管
申请号CN00813458.8申请日期2000-09-15
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2002-10-23公开/公告号CN1376311
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人因芬尼昂技术股份公司申请人地址
德国慕尼黑 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人因芬尼昂技术股份公司当前权利人因芬尼昂技术股份公司
发明人T·P·哈尼德;H·巴奇霍弗;E·昂格尔
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人苏娟;郑建晖
摘要
在一个在半导体衬底(1)中具有两个源/漏极区(13)和一个位于其间的沟道区的铁电晶体管中,在沟道区的表面上设有一个含有Al2O3的第一介电中间层(14),在第一介电中间层(14)的上方设置一个铁电层(15)和一个栅极(16)。通过在第一介电中间层中使用Al2O3,阻塞了从沟道区到第一介电中间层(14)的补偿电荷隧道并且由此延长了数据保存时间。

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