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单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03131940.8
  • IPC分类号:B25H1/02;B25H1/14
  • 申请日期:
    2003-06-17
  • 申请人:
    合肥工业大学
著录项信息
专利名称单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方法
申请号CN03131940.8申请日期2003-06-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-01-19公开/公告号CN1565811
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B25H1/02IPC分类号B;2;5;H;1;/;0;2;;;B;2;5;H;1;/;1;4查看分类表>
申请人合肥工业大学申请人地址
安徽省合肥市屯溪路193号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人合肥工业大学当前权利人合肥工业大学
发明人余晓芬;俞建卫;王永红;黄其圣;魏玉凤;邓辉
代理机构安徽省合肥新安专利代理有限责任公司代理人何梅生
摘要
单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方法,特征是采用单层结构,由压电驱动杆以八杆对称的方式联接,压电驱动杆A-a、B-b、C-c、D-d、E-e、F-f、G-g、H-h的外端通过柔性铰链A、B、C、D、E、F、G、H与固定台相连,内端通过柔性铰链a、b、c、d、e、f、g、h与微动台相连。通过并行控制八个压电驱动杆的长度变化来实现单层结构六自由度微动工作台多自由度的运动。本发明所采用的并行控制方法可以控制工作台的运动达到纳米级的精度,实现纳米级精密测量和精密定位。

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