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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种硅片推片器

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020273872.2
  • IPC分类号:H01L21/677;H01L31/18
  • 申请日期:
    2010-07-28
  • 申请人:
    北京市塑料研究所
著录项信息
专利名称一种硅片推片器
申请号CN201020273872.2申请日期2010-07-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人北京市塑料研究所申请人地址
北京市西城区旧鼓楼大街47号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京市塑料研究所当前权利人北京市塑料研究所
发明人朱道峰;高毅;黄萍;王国华;周祖武;赵剑京;张洪建
代理机构北京金之桥知识产权代理有限公司代理人朱黎光
摘要
一种硅片推片器,包括:支撑一个石英舟和一个硅片装载花篮的底座、等间距设置有多个推齿的推齿片、推板、拉杆、导向滑轨和连接部件,其中,所述推齿片分别安装在推板相对的侧面,导向滑轨固定在底座底部,拉杆设置在导向滑轨上,所述连接部件的一端连接推板,另一端连接拉杆。将硅片承载花篮和装有硅片的石英舟同时固定安装在推片器的底座上,推片器的推齿分别对准放置在石英舟中的硅片,移动拉杆,拉杆通过连接部件拉动推板移动,推板带动推齿片推动石英舟的硅片倒入硅片承载花篮。在硅片倒片时,避免手指接触硅片表面,防止硅片污染和破损,并且硅片能够同时被推入硅片承载花篮,提高倒片效率。

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