电子束熔炼液态硅除氧的装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320746348.6
IPC分类号：C01B33/037
申请日期：
2013-11-22
申请人：
青岛隆盛晶硅科技有限公司

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著录项信息

专利名称	电子束熔炼液态硅除氧的装置
申请号	CN201320746348.6	申请日期	2013-11-22
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/037 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/02 硅（形成单晶或有一定结构的均匀多晶材料入C30B）〔5〕 C01B33/037 纯化（用区域熔融入C30B 13/00）〔5〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;0;3;7查看分类表>
申请人	青岛隆盛晶硅科技有限公司	申请人地址	山东省青岛市崂山区苗岭路52号906 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛昌盛日电设计研究院有限公司	当前权利人	青岛昌盛日电设计研究院有限公司
发明人	王登科;安广野;郭校亮;姜大川;谭毅
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼液态硅除氧的装置，本实用新型打破了传统的除氧模式，首先在中频感应装置中进行待除氧硅料熔化，能够有效降低熔化所需能耗，借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼效果更好，由于导流区域是向下倾斜的构造，经熔炼提纯后的硅液流入凝固坩埚内，在凝固坩埚内进行堆积，一般选用较大尺寸的凝固坩埚，方便一次电子束熔炼工艺达到更大的单炉产量。本实用新型的优点在于提出了电子束除氧的工艺方法和用途，解决了多晶硅中杂质氧去除的难题，氧含量可以降低于0.0571ppmw以下，满足太阳能电池对多晶硅铸锭含氧量的要求。

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