用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器

发明专利有效专利

申请号：
CN201580063209.5
IPC分类号：C23C14/34;C23C16/50;H01J37/32;H01J37/34
申请日期：
2015-10-19
申请人：
圣卡塔琳娜州联邦大学

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专利名称	用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器
申请号	CN201580063209.5	申请日期	2015-10-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-08-01	公开/公告号	CN107002228A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;J;3;7;/;3;4查看分类表>
申请人	圣卡塔琳娜州联邦大学	申请人地址	巴西圣卡塔琳娜变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	圣卡塔琳娜州联邦大学	当前权利人	圣卡塔琳娜州联邦大学
发明人	C·宾德;E·A·贝尔纳代利;G·海姆斯;A·N·克雷恩;T·D·S·拉弥;R·宾德
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	郭思宇

摘要

反应器(R)具有反应室(RC)，该反应室(RC)设有用于金属零件(1)的支撑体(S)并且设有与接地(2b)连接的阳极系统(2)和与支撑体(S)并且与脉动DC电源(10)连接的阴极系统(3)。在被加热并且被供给气体负载的反应室(RC)中，通过阴极(3)中的放电，形成气体等离子体。液体或气体前体被准许进入与高电压能源(30)相关联的至少一个管状裂解室(20)中。可提供与电源(50)相关联的接收固体前体的至少一个管状溅射室(40)。在阳极(2)与所述管状室(20、40)中的一个或另一个之间施加电势差，以同时或单独地并且以任何次序地释放要对着金属零件(1)被离子轰击的合金元素。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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