一种大规模集成的电光微环光学相控阵

发明专利有效专利

申请号：
CN202110953527.6
IPC分类号：G02F1/21;G02F1/29;G02F1/295;G02F1/313
申请日期：
2021-08-19
申请人：
扬州大学

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著录项信息

专利名称	一种大规模集成的电光微环光学相控阵
申请号	CN202110953527.6	申请日期	2021-08-19
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-26	公开/公告号	CN113703244A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/21 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/21 应用干涉作用的〔2〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;2;1;;;G;0;2;F;1;/;2;9;;;G;0;2;F;1;/;2;9;5;;;G;0;2;F;1;/;3;1;3查看分类表>
申请人	扬州大学	申请人地址	江苏省扬州市大学南路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州大学	当前权利人	扬州大学
发明人	程立文;张家荣;罗雨中;张曦晨;李侦伟;张嘉仪;杨达;王俊迪;林星宇
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本发明公开了一种大规模集成的电光微环光学相控阵，至下而上包括硅衬底、二氧化硅掩埋层和硅芯层；二氧化硅掩埋层附着在硅衬底；在硅芯层这一层上还包括用于接收激光光源并将激光光源引导至光分束网络的光栅耦合器、用于将光栅耦合器输出的光源分成多路信号并传输至相位调谐区的光分束网络、用于产生相位差光束的相位调谐区和用于将产生的相位差光束发射至自由空间的天线阵列；相位调谐区包括由多个阵元构成的调谐阵列、与光分束网络连接的直波导、用于控制阵元的电压输出的控制总线；每个阵元均包括定向耦合器、p‑i‑n调制器和电极片；定向耦合器将直波导上的光信号耦合至p‑i‑n调制器，所述p‑i‑n调制器通过电极片与控制总线连接，用于使各路光产生相位差。

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