著录项信息
专利名称 | 一种具有调节功能的芯片拾取系统 |
申请号 | CN201910665403.0 | 申请日期 | 2019-07-23 |
法律状态 | 授权 | 申报国家 | 中国 |
公开/公告日 | 2019-10-18 | 公开/公告号 | CN110349896A |
优先权 | 暂无 | 优先权号 | 暂无 |
主分类号 | H01L21/677 | IPC分类号 | H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
|
申请人 | 深圳市律远汇智科技有限公司 | 申请人地址 | 广东省深圳市龙岗区南湾街道湖西路兴和苑12栋1202
变更
专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效 |
权利人 | 深圳市律远汇智科技有限公司 | 当前权利人 | 深圳市律远汇智科技有限公司 |
发明人 | 王树东 |
代理机构 | 暂无 | 代理人 | 暂无 |
摘要
本发明涉及一种具有调节功能的芯片拾取系统,包括芯片拾取装置,所述芯片拾取机包括顶板、拾取机构、保持带、顶起机构、调节机构和两个支架,所述拾取机构包括滑动组件、第一气缸、连接块、拾取盒、盒盖和转动组件,所述调节机构包括平移组件和两个固定组件,所述平移组件包括第一电机、齿轮、齿条和限位单元,所述固定组件包括第四电机、丝杆、移动条、固定板和压块,该具有调节功能的芯片拾取系统,通过拾取机构拾拾取芯片,可防止芯片在拾取过程中受损或沾染灰尘,不仅如此,通过调节机构固定保持带并调节保持带的松紧度,提高了实用性。
1.一种具有调节功能的芯片拾取系统,包括芯片拾取装置,其特征在于,所述芯片拾取
装置包括顶板(1)、拾取机构、保持带(3)、顶起机构、调节机构和两个支架(2),两个支架(2)
分别固定在顶板(1)的下方的两侧,所述调节机构和保持带(3)均设置在两个支架(2)之间,
所述拾取机构位于顶板(1)的下方,所述顶起机构位于保持带(3)的下方,两个支架(2)中,
其中一个支架(2)上设有操作面板(4),所述操作面板(4)内设有天线和PLC;
所述拾取机构包括滑动组件、第一气缸(10)、连接块(11)、拾取盒(12)、盒盖(13)和转
动组件,所述滑动组件设置在顶板(1)的下方,所述滑动组件与第一气缸(10)的缸体连接,
所述第一气缸(10)向下设置,所述第一气缸(10)的气杆与连接块(11)固定连接,所述拾取
盒(12)固定在连接块(11)的下方,所述盒盖(13)与拾取盒(12)的一侧的上方铰接,所述拾
取盒(12)的靠近盒盖(13)的一侧设有开口,所述转动组件设置在盒盖(13)的上方,所述第
一气缸(10)与PLC电连接;
顶起机构将芯片顶起,滑动组件带动第一气缸(10)移动,PLC控制第一气缸(10)的气杆
向下移动,第一气缸(10)的气杆通过连接块(11)带动拾取盒(12)向下移动,转动组件带动
盒盖(13)打开,然后滑动组件继续移动,使芯片的一端位于拾取盒(12)内,然后转动组件带
动盒盖(13)关闭,PLC控制第一气缸(10)的气杆上移,滑动组件移动,将芯片移送到下一工
序,从而实现拾取芯片的功能;
所述调节机构包括平移组件和两个固定组件,所述平移组件与两个支架(2)中的其中
一个支架(2)连接,两个固定组件分别与平移组件和另一个支架(2)连接,所述平移组件包
括第一电机(17)、齿轮(18)、齿条(19)和限位单元,所述第一电机(17)固定在支架(2)上,所
述第一电机(17)与齿轮(18)传动连接,所述齿条(19)位于齿轮(18)的上方,所述齿轮(18)
与齿条(19)啮合,所述限位单元设置在平移组件的上方,所述第一电机(17)与PLC电连接。
2.如权利要求1所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述滑动组件包括
滑轨(5)、滚轮(6)、第二电机(7)和滑动单元,所述滑轨(5)固定在顶板(1)的下方,所述滚轮
(6)与滑轨(5)滑动连接,所述第二电机(7)与滚轮(6)传动连接,所述滑动单元位于第二电
机(7)的远离滚轮(6)的一侧,所述滑动单元与第一气缸(10)的缸体连接。
3.如权利要求2所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述滑动单元包括
滑环(9)和滑杆(8),所述滑杆(8)的两端分别固定在两个支架(2)上,所述滑环(9)套设在滑
杆(8)上,所述第一气缸(10)的缸体固定在滑环(9)的下方,所述滑环(9)与第二电机(7)固
定连接。
4.如权利要求1所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述转动组件包括
第三电机(14)、转杆(15)和连杆(16),所述第三电机(14)固定在连接块(11)的靠近盒盖
(13)的一侧,所述第三电机(14)与转杆(15)的一端传动连接,所述转杆(15)的另一端通过
连杆(16)与盒盖(13)铰接,所述第三电机(14)与PLC电连接。
5.如权利要求1所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述限位单元包括
限位杆(20)、套管(21)和限位板(22),所述限位板(22)通过限位杆(20)固定在支架(2)上,
所述限位杆(20)与齿条(19)平行设置,所述套管(21)套设在限位杆(20)上,所述套管(21)
与靠近移动组件的固定组件连接。
6.如权利要求1所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述固定组件包括
第四电机(23)、丝杆(24)、移动条(25)、固定板(26)和压块(27),所述丝杆(24)竖向设置,所
述第四电机(23)与丝杆(24)的顶端传动连接,所述移动条(25)套设在丝杆(24)的底端,所
述移动条(25)的与丝杆(24)的连接处设有与丝杆(24)匹配的螺纹,所述压块(27)与移动条
(25)固定连接,所述固定板(26)位于压块(27)的下方,所述固定板(26)上设有通孔,所述移
动条(25)的底端穿过通孔,两个固定组件中,其中一个靠近移动组件的固定组件中,所述第
四电机(23)固定在套管(21)的下方,所述固定板(26)与齿条(19)固定连接,另一个固定组
件中,所述第四电机(23)和固定板(26)均固定在远离移动组件的支架(2)上,所述保持带
(3)的两端分别设置在两个固定组件中的压块(27)和固定板(26)之间,所述第四电机(23)
与PLC电连接。
7.如权利要求6所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述移动条(25)的
形状为长方体,所述通孔与移动条(25)匹配。
8.如权利要求1所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述顶起机构包括
传送带(28)、第二气缸(29)和顶针(30),所述传送带(28)设置在保持带(3)的下方,所述第
二气缸(29)的缸体固定在传送带(28)的上方,所述第二气缸(29)的气杆与顶针(30)固定连
接,所述第二气缸(29)与PLC电连接。
9.如权利要求8所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述传送带(28)的
下方设有垃圾箱(31),所述垃圾箱(31)的下方设有若干移动轮(32)。
10.如权利要求1所述的具有调节功能的芯片拾取系统,其特征在于,所述连接块(11)
的远离转动组件的一侧设有距离传感器(33),所述距离传感器(33)与PLC电连接。
一种具有调节功能的芯片拾取系统\n技术领域\n[0001] 本发明涉及芯片拾取设备领域,特别涉及一种具有调节功能的芯片拾取系统。\n背景技术\n[0002] 半导体芯片是由不同尺寸的晶片被切断成所定大小得到的,为了防止被切断的半\n导体芯片变得零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面切断\n晶片,此时,粘接在背面的保持带虽然被切入一部分,但没有被切断,以此保持各半导体芯\n片的状态,接着,芯片拾取机从保持带上拾取被切断的各半导体芯片,拾取过程中,芯片首\n先从晶圆上被顶起,随后通过吸嘴吸附芯片表面,实现剥离并转移。\n[0003] 现有芯片拾取机在用吸嘴吸附芯片时,需要严格控制吸嘴的吸力,以防芯片在拾\n取过程中掉落或损坏,比较麻烦,而且在此过程中,芯片容易沾染灰尘,不仅如此,现有的芯\n片拾取机在拾取芯片前,需要先固定好保持带,此时保持带应该被尽量拉平,以防芯片集中\n到一处,但在拾取过程中,保持带又不能太紧,否则顶针难以顶起芯片,而现有的芯片拾取\n机难以调整保持带的松紧度,降低了实用性。\n发明内容\n[0004] 本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种具有调节功能\n的芯片拾取系统。\n[0005] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种具有调节功能的芯片拾取系\n统,包括芯片拾取装置,所述芯片拾取装置包括顶板、拾取机构、保持带、顶起机构、调节机\n构和两个支架,两个支架分别固定在顶板的下方的两侧,所述调节机构和保持带均设置在\n两个支架之间,所述拾取机构位于顶板的下方,所述顶起机构位于保持带的下方,两个支架\n中,其中一个支架上设有操作面板,所述操作面板内设有天线和PLC;\n[0006] 所述拾取机构包括滑动组件、第一气缸、连接块、拾取盒、盒盖和转动组件,所述滑\n动组件设置在顶板的下方,所述滑动组件与第一气缸的缸体连接,所述第一气缸向下设置,\n所述第一气缸的气杆与连接块固定连接,所述拾取盒固定在连接块的下方,所述盒盖与拾\n取盒的一侧的上方铰接,所述拾取盒的靠近盒盖的一侧设有开口,所述转动组件设置在盒\n盖的上方,所述第一气缸与PLC电连接;\n[0007] 所述调节机构包括平移组件和两个固定组件,所述平移组件与两个支架中的其中\n一个支架连接,两个固定组件分别与平移组件和另一个支架连接,所述平移组件包括第一\n电机、齿轮、齿条和限位单元,所述第一电机固定在支架上,所述第一电机与齿轮传动连接,\n所述齿条位于齿轮的上方,所述齿轮与齿条啮合,所述限位单元设置在平移组件的上方,所\n述第一电机与PLC电连接。\n[0008] 作为优选,为了带动第一气缸平移,所述滑动组件包括滑轨、滚轮、第二电机和滑\n动单元,所述滑轨固定在顶板的下方,所述滚轮与滑轨滑动连接,所述第二电机与滚轮传动\n连接,所述滑动单元位于第二电机的远离滚轮的一侧,所述滑动单元与第一气缸的缸体连\n接。\n[0009] 作为优选,为了限制第二电机的移动方向,所述滑动单元包括滑环和滑杆,所述滑\n杆的两端分别固定在两个支架上,所述滑环套设在滑杆上,所述第一气缸的缸体固定在滑\n环的下方,所述滑环与第二电机固定连接。\n[0010] 作为优选,为了驱动盒盖开启或关闭,所述转动组件包括第三电机、转杆和连杆,\n所述第三电机固定在连接块的靠近盒盖的一侧,所述第三电机与转杆的一端传动连接,所\n述转杆的另一端通过连杆与盒盖铰接,所述第三电机与PLC电连接。\n[0011] 作为优选,为了限制齿条移动的方向和距离,所述限位单元包括限位杆、套管和限\n位板,所述限位板通过限位杆固定在支架上,所述限位杆与齿条平行设置,所述套管套设在\n限位杆上,所述套管与靠近移动组件的固定组件连接。\n[0012] 作为优选,为了固定保持带,所述固定组件包括第四电机、丝杆、移动条、固定板和\n压块,所述丝杆竖向设置,所述第四电机与丝杆的顶端传动连接,所述移动条套设在丝杆的\n底端,所述移动条的与丝杆的连接处设有与丝杆匹配的螺纹,所述压块与移动条固定连接,\n所述固定板位于压块的下方,所述固定板上设有通孔,所述移动条的底端穿过通孔,两个固\n定组件中,其中一个靠近移动组件的固定组件中,所述第四电机固定在套管的下方,所述固\n定板与齿条固定连接,另一个固定组件中,所述第四电机和固定板均固定在远离移动组件\n的支架上,所述保持带的两端分别设置在两个固定组件中的压块和固定板之间,所述第四\n电机与PLC电连接。\n[0013] 作为优选,为了限制移动条的移动方向,所述移动条的形状为长方体,所述通孔与\n移动条匹配。\n[0014] 作为优选,为了顶起芯片,所述顶起机构包括传送带、第二气缸和顶针,所述传送\n带设置在保持带的下方,所述第二气缸的缸体固定在传送带的上方,所述第二气缸的气杆\n与顶针固定连接,所述第二气缸与PLC电连接。\n[0015] 作为优选,为了便于投放废弃的保持带,所述传送带的下方设有垃圾箱,所述垃圾\n箱的下方设有若干移动轮。\n[0016] 作为优选,为了检测拾取盒到芯片之间的距离,所述连接块的远离转动组件的一\n侧设有距离传感器,所述距离传感器与PLC电连接。\n[0017] 本发明的有益效果是,该具有调节功能的芯片拾取系统,通过拾取机构拾拾取芯\n片,与现有的拾取机构相比,该拾取机构操作更加简便,且在拾取过程中可防止芯片受损或\n沾染灰尘,不仅如此,通过调节机构固定保持带并调节保持带的松紧度,与现有的调节机构\n相比,该调节机构设计巧妙,更加灵活,提高了实用性。\n附图说明\n[0018] 下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。\n[0019] 图1是本发明的具有调节功能的芯片拾取系统的结构示意图;\n[0020] 图2是本发明的具有调节功能的芯片拾取系统的拾取机构的结构示意图;\n[0021] 图3是本发明的具有调节功能的芯片拾取系统的调节机构的结构示意图;\n[0022] 图4是图1的A部放大图;\n[0023] 图中:1.顶板,2.支架,3.保持带,4.操作面板,5.滑轨,6.滚轮,7.第二电机,8.滑\n杆,9.滑环,10.第一气缸,11.连接块,12.拾取盒,13.盒盖,14.第三电机,15.转杆,16.连\n杆,17.第一电机,18.齿轮,19.齿条,20.限位杆,21.套管,22.限位板,23.第四电机,24.丝\n杆,25.移动条,26.固定板,27.压块,28.传送带,29.第二气缸,30.顶针,31.垃圾箱,32.移\n动轮,33.距离传感器。\n具体实施方式\n[0024] 现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以\n示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。\n[0025] 如图1所示,一种具有调节功能的芯片拾取系统,包括芯片拾取装置,所述芯片拾\n取装置包括顶板1、拾取机构、保持带3、顶起机构、调节机构和两个支架2,两个支架2分别固\n定在顶板1的下方的两侧,所述调节机构和保持带3均设置在两个支架2之间,所述拾取机构\n位于顶板1的下方,所述顶起机构位于保持带3的下方,两个支架2中,其中一个支架2上设有\n操作面板4,所述操作面板4内设有天线和PLC;\n[0026] PLC,即可编程逻辑控制器,它采用一类可编程的存储器,用于其内部存储程序,执\n行逻辑运算、顺序控制、定时、计数与算术操作等面向用户的指令,并通过数字或模拟式输\n入/输出控制各种类型的机械或生产过程,其实质是一种专用于工业控制的计算机,其硬件\n结构基本上与微型计算机相同,一般用于数据的处理以及指令的接收和输出,用于实现中\n央控制。\n[0027] 用户用遥控器向天线发出信号,天线收到信号后将信号发给PLC,PLC控制设备运\n行,调节机构固定保持带3,并调节好保持带3的松紧度,顶起机构将芯片顶起,再由拾取机\n构拾取并传送芯片。\n[0028] 如图2所示,所述拾取机构包括滑动组件、第一气缸10、连接块11、拾取盒12、盒盖\n13和转动组件,所述滑动组件设置在顶板1的下方,所述滑动组件与第一气缸10的缸体连\n接,所述第一气缸10向下设置,所述第一气缸10的气杆与连接块11固定连接,所述拾取盒12\n固定在连接块11的下方,所述盒盖13与拾取盒12的一侧的上方铰接,所述拾取盒12的靠近\n盒盖13的一侧设有开口,所述转动组件设置在盒盖13的上方,所述第一气缸10与PLC电连\n接;\n[0029] 顶起机构将芯片顶起,滑动组件带动第一气缸10移动,PLC控制第一气缸10的气杆\n向下移动,第一气缸10的气杆通过连接块11带动拾取盒12向下移动,转动组件带动盒盖13\n打开,然后滑动组件继续移动,使芯片的一端位于拾取盒12内,然后转动组件带动盒盖13关\n闭,PLC控制第一气缸10的气杆上移,滑动组件移动,将芯片移送到下一工序,从而实现拾取\n芯片的功能。\n[0030] 如图1和图3所示,所述调节机构包括平移组件和两个固定组件,所述平移组件与\n两个支架2中的其中一个支架2连接,两个固定组件分别与平移组件和另一个支架2连接,所\n述平移组件包括第一电机17、齿轮18、齿条19和限位单元,所述第一电机17固定在支架2上,\n所述第一电机17与齿轮18传动连接,所述齿条19位于齿轮18的上方,所述齿轮18与齿条19\n啮合,所述限位单元设置在平移组件的上方,所述第一电机17与PLC电连接。\n[0031] 两个固定组件固定住保持带3的两端,PLC控制第一电机17驱动齿轮18转动,带动\n齿条19移动,带动与齿条19连接的固定组件移动,从而调节保持带3的松紧度。\n[0032] 作为优选,为了带动第一气缸10平移,所述滑动组件包括滑轨5、滚轮6、第二电机7\n和滑动单元,所述滑轨5固定在顶板1的下方,所述滚轮6与滑轨5滑动连接,所述第二电机7\n与滚轮6传动连接,所述滑动单元位于第二电机7的远离滚轮6的一侧,所述滑动单元与第一\n气缸10的缸体连接。\n[0033] 作为优选,为了限制第二电机7的移动方向,所述滑动单元包括滑环9和滑杆8,所\n述滑杆8的两端分别固定在两个支架2上,所述滑环9套设在滑杆8上,所述第一气缸10的缸\n体固定在滑环9的下方,所述滑环9与第二电机7固定连接。\n[0034] PLC控制第二电机7驱动滚轮6转动,滚轮6在滑轨5内滑动,通过第二电机7带动滑\n环9沿着滑杆8移动,从而带动第一气缸10移动,从而调节拾取盒12的水平位置。\n[0035] 作为优选,为了驱动盒盖13开启或关闭,所述转动组件包括第三电机14、转杆15和\n连杆16,所述第三电机14固定在连接块11的靠近盒盖13的一侧,所述第三电机14与转杆15\n的一端传动连接,所述转杆15的另一端通过连杆16与盒盖13铰接,所述第三电机14与PLC电\n连接。\n[0036] PLC控制第三电机14驱动转杆15向远离拾取盒12的方向转动,通过连杆16带动盒\n盖13打开,PLC控制第三电机14反向转动,使盒盖13关闭,从而防止灰尘沾染芯片。\n[0037] 作为优选,为了限制齿条19移动的方向和距离,所述限位单元包括限位杆20、套管\n21和限位板22,所述限位板22通过限位杆20固定在支架2上,所述限位杆20与齿条19平行设\n置,所述套管21套设在限位杆20上,所述套管21与靠近移动组件的固定组件连接。\n[0038] 两个固定组件中,其中一个靠近移动组件的固定组件移动时,套管21随之沿着限\n位杆20滑动,限位板22限制了套管21移动的距离,由于齿条19通过固定组件与套管21连接,\n从而限制齿条19移动的方向和距离。\n[0039] 作为优选,为了固定保持带3,所述固定组件包括第四电机23、丝杆24、移动条25、\n固定板26和压块27,所述丝杆24竖向设置,所述第四电机23与丝杆24的顶端传动连接,所述\n移动条25套设在丝杆24的底端,所述移动条25的与丝杆24的连接处设有与丝杆24匹配的螺\n纹,所述压块27与移动条25固定连接,所述固定板26位于压块27的下方,所述固定板26上设\n有通孔,所述移动条25的底端穿过通孔,两个固定组件中,其中一个靠近移动组件的固定组\n件中,所述第四电机23固定在套管21的下方,所述固定板26与齿条19固定连接,另一个固定\n组件中,所述第四电机23和固定板26均固定在远离移动组件的支架2上,所述保持带3的两\n端分别设置在两个固定组件中的压块27和固定板26之间,所述第四电机23与PLC电连接。\n[0040] 用户先将保持带3的一端放到一块固定板26上,该固定板26所在的固定组件中,\nPLC控制第四电机23驱动丝杆24转动,使移动条25带动压块27向下移动,压块27和固定板26\n之间的缝隙逐渐变小,使保持带3的一端被固定,用户再将保持带3的另一端放到另一块固\n定板26上,以同样的方式固定保持带3的另一端,从而实现固定保持带3的功能。\n[0041] 作为优选,为了限制移动条25的移动方向,所述移动条25的形状为长方体,所述通\n孔与移动条25匹配。\n[0042] 由于移动条25的形状为长方体且通孔与移动条25匹配,从而限制限制移动条25的\n移动方向,防止移动条25跟着丝杆24转动。\n[0043] 如图4所示,所述顶起机构包括传送带28、第二气缸29和顶针30,所述传送带28设\n置在保持带3的下方,所述第二气缸29的缸体固定在传送带28的上方,所述第二气缸29的气\n杆与顶针30固定连接,所述第二气缸29与PLC电连接。\n[0044] 实际上,所述传送带28是由电动机驱动的,所述电动机固定在其中一个支架2上,\n所述电动机与PLC电连接。\n[0045] PLC控制电动机驱动传送带28转动,带动第二气缸29移动,PLC控制第二气缸29的\n气杆向上移动,带动顶针30将芯片顶起,方便拾取机构拾取芯片。\n[0046] 作为优选,为了便于投放废弃的保持带3,所述传送带28的下方设有垃圾箱31,所\n述垃圾箱31的下方设有若干移动轮32。\n[0047] 芯片拾取完毕后,用户将保持带3扔进垃圾箱31内,垃圾箱31装满后,用户推动垃\n圾箱31,滚轮6滚动,用户将垃圾箱31推到指定地点倒掉垃圾。\n[0048] 作为优选,为了检测拾取盒12到芯片之间的距离,所述连接块11的远离转动组件\n的一侧设有距离传感器33,所述距离传感器33与PLC电连接。\n[0049] 距离传感器33检测拾取盒12到芯片之间的距离,发送信号给PLC,PLC收到信号后\n控制第一气缸10的气杆移动,调整拾取盒12在竖直方向上的位置,便于拾取盒12装入芯片。\n[0050] 用户先将保持带3的一端放到一块固定板26上,该固定板26所在的固定组件中,\nPLC控制第四电机23驱动丝杆24转动,使移动条25带动压块27向下移动,压块27和固定板26\n之间的缝隙逐渐变小,使保持带3的一端被固定,用户再将保持带3的另一端放到另一块固\n定板26上,以同样的方式固定保持带3的另一端,PLC控制第一电机17驱动齿轮18转动,带动\n齿条19移动,带动与齿条19连接的固定组件移动,从而调节保持带3的松紧度,PLC控制电动\n机驱动传送带28转动,带动第二气缸29移动,PLC控制第二气缸29的气杆向上移动,带动顶\n针30将芯片顶起,PLC控制第二电机7驱动滚轮6转动,滚轮6在滑轨5内滑动,通过第二电机7\n带动滑环9沿着滑杆8移动,从而带动第一气缸10移动,PLC控制第一气缸10的气杆向下移\n动,通过连接块11带动拾取盒12移动,PLC控制第三电机14驱动转杆15向远离拾取盒12的方\n向转动,通过连杆16带动盒盖13打开,然后滑动组件继续移动,使芯片的一端进入到拾取盒\n12内,PLC控制第三电机14反向转动,盒盖13关闭,然后PLC控制第一气缸10的气杆向上移\n动,滑动组件带动第一气缸10移动,将芯片送到下一工序。\n[0051] 与现有技术相比,该具有调节功能的芯片拾取系统,通过拾取机构拾拾取芯片,与\n现有的拾取机构相比,该拾取机构操作更加简便,且在拾取过程中可防止芯片受损或沾染\n灰尘,不仅如此,通过调节机构固定保持带3并调节保持带3的松紧度,与现有的调节机构相\n比,该调节机构设计巧妙,更加灵活,提高了实用性。\n[0052] 以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完\n全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术\n性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
法律信息
- 2021-11-12
- 2019-11-12
实质审查的生效
IPC(主分类): H01L 21/677
专利申请号: 201910665403.0
申请日: 2019.07.23
- 2019-10-18
引用专利(该专利引用了哪些专利)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 |
1
| |
2011-04-27
|
2010-09-30
| | |
2
| |
2013-05-01
|
2011-06-30
| | |
3
| |
2019-06-21
|
2019-04-23
| | |
4
| | 暂无 |
2008-04-07
| | |
被引用专利(该专利被哪些专利引用)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 | 该专利没有被任何外部专利所引用! |