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重力补偿器以及采用所述重力补偿器的微动台

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010102422.1
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2010-01-28
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称重力补偿器以及采用所述重力补偿器的微动台
申请号CN201010102422.1申请日期2010-01-28
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-08-03公开/公告号CN102141734A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人赵辉
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
一种重力补偿器,其对受支撑物体进行垂向的重力补偿,所述重力补偿器包括连接机构,其连接所述重力补偿器与所述受支撑物体,从而在它们之间进行传动;连接至所述连接机构的垂向驱动机构,所述垂向驱动机构驱动所述连接机构进行垂向运动,从而对所述受支撑物体进行垂向补偿;连接至所述垂向驱动机构的悬浮装置,所述悬浮装置使得所述垂向驱动机构浮于承载基部上,以使所述垂向机构可根据所述受支撑装置的移动而在所述承载基部上做相应的移动。由于根据本发明的重力补偿器采用悬浮装置与承载基部连接,因此可以随着受支撑物体的运动而运动,对重力进行实时平衡,使支撑物体处于悬浮状态,从而使支撑物体的运动效率和性能大大提高。

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