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一种键合对准设备和方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610617023.6
  • IPC分类号:H01L21/68
  • 申请日期:
    2016-07-29
  • 申请人:
    上海微电子装备(集团)股份有限公司
著录项信息
专利名称一种键合对准设备和方法
申请号CN201610617023.6申请日期2016-07-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-02-06公开/公告号CN107665847A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人上海微电子装备(集团)股份有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人朱鸷;赵建军;霍志军
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明提供的键合对准设备和方法中,压盘组件包括一个上承片台和一个可旋转的下承片台,若上下承片台之间台面不平行,则旋转下承片台使得两者的台面平行,然后将上基片上载到上承片台上,由于压盘组件的一侧设置了物镜组,其可以观察上基片上的对准标记,然后将下基片上载到下承片台上,物镜组观察下基片上的对准标记,根据物镜组的观察情况,移动两个基片使得两个基片的对准标记对准,则完成了两个基片的键合对准。本发明先调整承片台,然后对准基片,无需设置过高精密的设备,减少了设备的复杂度,尤其能够检测基片的全局对准误差。

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