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一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201010022997.2
IPC分类号：B24B57/00;C02F9/02;C02F1/44;C02F1/42
申请日期：
2010-01-19
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法
申请号	CN201010022997.2	申请日期	2010-01-19
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-06-30	公开/公告号	CN101758457A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B57/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B57/00 磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备（用于磨料喷射入B24C 1/00，B24C 7/00）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;5;7;/;0;0;;;C;0;2;F;9;/;0;2;;;C;0;2;F;1;/;4;4;;;C;0;2;F;1;/;4;2查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	浙江省海宁市斜桥镇云星路138号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江新创纳电子科技有限公司	当前权利人	浙江新创纳电子科技有限公司
发明人	汪海波;刘卫丽;宋志棠
代理机构	上海光华专利事务所	代理人	许亦琳;余明伟

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法，包括下列步骤：将已使用过的抛光液经过滤膜过滤后收集滤液；将滤液过阳离子交换树脂后，收集流出液；将获得的流出液再过阴离子交换树脂，收集流出液；将获得的流出液作为原料用于配制新的化学机械抛光液，或者将获得的流出液浓缩后作为原料用于配制新的化学机械抛光液。本发明的方法磨料回收率高，环保且节省资源。

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