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一种具有加料装置的坩埚盘机构及其操作方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201811582171.4
  • IPC分类号:C30B17/00
  • 申请日期:
    2018-12-24
  • 申请人:
    江西水晶光电有限公司
著录项信息
专利名称一种具有加料装置的坩埚盘机构及其操作方法
申请号CN201811582171.4申请日期2018-12-24
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2019-04-05公开/公告号CN109576781A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C30B17/00IPC分类号C;3;0;B;1;7;/;0;0查看分类表>
申请人江西水晶光电有限公司申请人地址
江西省鹰潭市鹰潭经济技术开发区和谐路7号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江西水晶光电有限公司当前权利人江西水晶光电有限公司
发明人徐路辉
代理机构温州名创知识产权代理有限公司代理人程嘉炜
摘要
本发明涉及一种具有加料装置的坩埚盘机构,包括有坩埚盘,所述坩埚盘包括有同心设置的容置盘及外盘,所述外盘上罩设有盘盖,所述容置盘上环绕设置有24个坩埚容置槽,所述坩埚容置槽中设有坩埚,所述外盘中部设有与外盘同心设置的驱动轴,所述驱动轴一端设置有驱动电机,盘盖在其中一个坩埚容置槽相对应位置开设有加料口,其特征在于:盘盖外壁靠近加料口设置有可对坩埚盘上暴露于加料口处的坩埚进行加料的加料装置,所述驱动电机处连接有脚踏开关,本发明的有益效果为:提升坩埚加料效率,减少员工作业动作,且员工作业更加方便。

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