硅微机械泵

实用新型专利无效专利

申请号：
CN96232181.8
IPC分类号：--
申请日期：
1996-06-28
申请人：
东南大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	硅微机械泵
申请号	CN96232181.8	申请日期	1996-06-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市四牌楼2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	丁辛芳
代理机构	东南大学专利事务所	代理人	楼高潮;魏学成

摘要

硅微机械泵是一种采用硅微机械加工技术和半导体集成电路工艺制作而成的流体泵，泵体可采用玻璃/硅材料的结构构成，驱动装置采用硅薄膜加热电阻实现，流体输送机械可由微型腔室、自由振动硅膜和喷嘴——扩散管道式的出口和入口构成，硅薄膜加热电阻位于微型腔室内，采用无可动阀门泵的结构替代通常的出口、入口两个可动单向阀门，具有结构简单、稳定性和可靠性高等特点，可广泛用于临床医学、化工、食品、制药和环境检测等领域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN100458152C	2004-03-24	2004-03-24	一种微机械往复膜片泵失效专利	中国科学院光电技术研究所
2	CN100385119C	2003-04-29	2003-04-29	液体输送器失效专利	吴军;吴实英
3	CN100434728C	2005-04-07	2005-04-07	微型扩散泵及其制备方法失效专利	北京大学

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