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静电电容式微机械超声换能器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010078743.6
  • IPC分类号:B06B1/06
  • 申请日期:
    2020-02-03
  • 申请人:
    韩国科学技术研究院;仁荷大学校产学协力团;首尔大学医学院
著录项信息
专利名称静电电容式微机械超声换能器
申请号CN202010078743.6申请日期2020-02-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-08-18公开/公告号CN111545438A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B06B1/06IPC分类号B;0;6;B;1;/;0;6查看分类表>
申请人韩国科学技术研究院;仁荷大学校产学协力团;首尔大学医学院申请人地址
韩国首尔 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人韩国科学技术研究院,仁荷大学校产学协力团,首尔大学医学院当前权利人韩国科学技术研究院,仁荷大学校产学协力团,首尔大学医学院
发明人李炳喆;崔里诺;李活
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司代理人姜虎;陈英俊
摘要
本发明涉及静电电容式微机械超声换能器(CMUT),其包括:基板;上部电极,与所述基板隔开配置;绝缘性的支撑部,结合于所述基板与所述上部电极的边缘部之间,以便固定并支撑所述上部电极的边缘部,并且在所述基板与所述上部电极之间限定出空隙;多个纳米柱,其两端固定并结合于所述空隙内的所述基板及所述上部电极上,当对所述上部电极施加电源时,所述多个纳米柱能够沿长度方向压缩及拉伸,以使所述上部电极至少进行上下移动。

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