掩模版白缺陷修补烘烤装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201220106454.3
IPC分类号：G03F1/72
申请日期：
2012-03-20
申请人：
深圳市龙图光电有限公司

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著录项信息

专利名称	掩模版白缺陷修补烘烤装置
申请号	CN201220106454.3	申请日期	2012-03-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/72 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/16 （转入G03F 1/00-G03F 1/86） G03F1/68 未包含在G03F 1/20至G03F 1/50组中的制备工艺〔2012.01〕 G03F1/72 掩膜缺陷的修复或校正〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;7;2查看分类表>
申请人	深圳市龙图光电有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区沙井镇新桥新玉路圣佐治科技工业园4栋厂房一楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市龙图光电有限公司	当前权利人	深圳市龙图光电有限公司
发明人	侯广杰;游定平
代理机构	深圳市中原力和专利商标事务所（普通合伙）	代理人	王英鸿

摘要

本实用新型提供了一种掩模版白缺陷修补烘烤装置，包括：枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。本实用新型所述掩模版白缺陷修补烘烤装置，通过使用枪式烘烤加热、以及对烘烤加热温度进行控制的温控电路，使得对掩模版白缺陷修补的烘烤实现了点对点、局部的加热方式，避免了现有技术中所述因部分修补而使用的整版烘烤的缺点，克服了因整版烘烤而带来的烘烤时间、散热时间过长以及影响掩模版整版清洗困难的弊端，同时，由于温控电路的使用，使得枪式烘烤加热器的烘烤温度、烘烤时间、以及烘烤报警时间等烘烤参数都可控，实现了掩模版白缺陷修补烘烤装置的可控性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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该专利没有被任何外部专利所引用！

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