检查装置及检查方法

发明专利无效专利

申请号：
CN01801478.X
IPC分类号：G01R31/02;G01R31/28;H01L21/66;H05K3/00
申请日期：
2001-06-13
申请人：
OHT株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	检查装置及检查方法
申请号	CN01801478.X	申请日期	2001-06-13
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2002-11-20	公开/公告号	CN1380980
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/02 对电设备、线路或元件进行短路、断路、泄漏或不正确连接的测试	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;0;2;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;5;K;3;/;0;0查看分类表>
申请人	OHT株式会社	申请人地址	日本国广岛县深安郡变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	OHT株式会社	当前权利人	OHT株式会社
发明人	石冈圣悟;山冈秀嗣
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	戈泊;王刚

摘要

本发明提供一种在将检查信号供给到电路配线时，不需要与该电路配线接触的端子，而连无法以肉眼辨识的微细缺陷也会检测出的检查装置及检查方法。用来检查电路基板100的电路配线的检查装置A，是由配置在电路基板100的其中一面而被供给检查信号的导电构件1、将检查信号供给到导电构件1的信号源2、具有面向导电构件1而被配置在电路基板100另一面的多个单元3a的感测单元3、以及通过将检查信号供给到导电构件1，而取得在各单元3a所出现信号的计算机5所构成。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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