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具有掩模台功能的基于叠加电机的物料传输系统及其方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200810034347.2
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00
  • 申请日期:
    2008-03-06
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称具有掩模台功能的基于叠加电机的物料传输系统及其方法
申请号CN200810034347.2申请日期2008-03-06
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2008-08-13公开/公告号CN101241311
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人李钢;马喜宝;周畅;李若庆
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
一种具有掩模台功能的基于叠加电机的物料传输系统及其方法,包括叠加的X方向驱动装置、Y方向驱动装置、旋转装置及与所述旋转装置相连接的机械手,其中,所述X方向驱动装置驱动所述Y方向驱动装置、旋转装置、机械手在X方向运动;所述Y方向驱动装置驱动所述旋转装置、机械手在Y方向运动;所述旋转装置用于驱动所述机械手作旋转运动。本发明使该装置不但能够实现掩模传输功能,而且能够实现掩模台的功能。并且使得硅片或掩模在传输的过程中更加灵活,解决了布局和占用空间的问题。应用于掩模传输时,可有效地提高运动的精度,并且能够完成专用曝光光刻装置掩模载物台的功能,大幅降低了整个光刻的成本,并且简化机械结构。

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