一种晶圆自动切割装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110079170.3
IPC分类号：B28D5/02;B28D7/00
申请日期：
2021-01-21
申请人：
方彐云

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种晶圆自动切割装置
申请号	CN202110079170.3	申请日期	2021-01-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-04	公开/公告号	CN112895181A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕 B28D5/02 用旋转工具的，例如钻具	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;2;;;B;2;8;D;7;/;0;0查看分类表>
申请人	方彐云	申请人地址	广东省广州市荔湾区芳村大道南塘外街2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	方彐云	当前权利人	方彐云
发明人	方彐云
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种晶圆自动切割装置，包括底座、固定杆、驱动机构、切割机构和推料机构，该晶圆自动切割装置，通过驱动机构驱动推料机构间歇运行，从而实现自动间歇推料，同时驱动切割机构间歇运行，使得切割盘间歇移动，同时运行切割组件实现切割盘的旋转，从而对工件进行切割，与现有的切割装置相比，该装置通过一个输出端实现切割机构的移动和推料机构的运行，节省了能源，同时切割机构和推料机构采用联动，实现了工件的在线推料和切割，提高了效率，且该联动采用纯机械结构，提高了装置的稳定性和使用寿命，与现有的夹持机构相比，该机构采用柔性夹持，避免了刚性夹持划花工件，对工件实现保护。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供