加速度传感器的结构及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200710078943.6
IPC分类号：B81B3/00;B81C5/00;G01P15/00
申请日期：
2007-02-16
申请人：
冲电气工业株式会社

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著录项信息

专利名称	加速度传感器的结构及其制造方法
申请号	CN200710078943.6	申请日期	2007-02-16
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-09-19	公开/公告号	CN101037184
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B3/00 由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成（B81B 5/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;B;3;/;0;0;;;B;8;1;C;5;/;0;0;;;G;0;1;P;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	冲电气工业株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	冲电气工业株式会社	当前权利人	冲电气工业株式会社
发明人	野村昭彦
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	何腾云

摘要

具有阻挡器结构的加速度传感器及其制造方法，尤其是通过微细加工工艺制造的具有阻挡器结构的加速度传感器，其可以消除锤与阻挡器粘接的问题。本发明提供具有下述特征的加速度传感器，具有：第1基板，所述第1基板具有锤固定部，离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部，可以挠曲地连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁，离开该锤固定部和该支撑梁但与该台座固定部相连的阻挡器；通过第1连接层连接在上述锤固定部上，与上述阻挡器分离但与其重叠的锤部；与上述锤部分离，通过第2连接层连接在上述台座固定部上的台座部；与上述阻挡器分离，形成在该阻挡器与上述锤部之间的该锤部上的凸起部。

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