制作栅极与蚀刻导电层的方法发明专利
申请号：CN200610084818.1
LOC分类号:H01L21/28
IPC结构图谱：
- F机械工程；照明；加热；武器；爆破
- F1一般工程
- F17气体或液体的贮存或分配
- F17D管道系统；管路（配水入E03B；泵或压缩机入F04；流体动力学入F15D；阀或类似件入F16K；管子、铺设管子、支撑、连接、支管、管路维修、管路上的工作、附件入F16L；凝汽阀或类似件入F16T；液体压力电缆入H01B 9/06）
- F17D1/00管道系统（用流体作为运载工具经管路输送物品或材料入B65G 51/00，B65G 53/00；液体分配、输送或转送入B67D；从大型贮存容器或贮存库将液体输入车辆中或者输入便携式容器内的设备或装置，例如为了零售入B67D 7/00；通过管路输送由挖泥机或推土机挖掘出的物质入E02F 7/10；污水管道系统入E03F 3/00；管道隔热入F16L 59/00；集中供热系统入F24D） 〔2〕
