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用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020179759.8
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2010-05-05
  • 申请人:
    江苏综艺光伏有限公司
著录项信息
专利名称用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室
申请号CN201020179759.8申请日期2010-05-05
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人江苏综艺光伏有限公司申请人地址
江苏省通州市兴东镇综艺数码城 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏综艺光伏有限公司当前权利人江苏综艺光伏有限公司
发明人张浩;昝圣达;张红星
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人张惠忠
摘要
本实用新型公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室,包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架,气体注射器设置在腔壁的上端,承受器设置在气体注射器的下端,其特征在于:还包括一支撑栓底板,该支撑栓底板设置在承受器的下端,在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓,该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件,在所述的承受器上设置有支撑栓孔,所述的承受器套在所述的支撑栓上。本实用新型在工艺腔室内增加了支撑架,并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑,支撑栓采用点接触,且比较分散,同时,支撑点也不局限于边缘,因而玻璃放在支撑栓上后,热传递慢且传递量小,玻璃表面温差小,因此,镀膜时,玻璃的镀层较为均匀,色差小。

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