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用于压印光刻的压印物料

发明专利有效专利

申请号：
CN201911094280.6
IPC分类号：G03F7/00;C08L83/04;C08L63/00;C08L33/08
申请日期：
2013-06-19
申请人：
EV集团E·索尔纳有限责任公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于压印光刻的压印物料
申请号	CN201911094280.6	申请日期	2013-06-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-02-07	公开/公告号	CN110764365A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;;;C;0;8;L;8;3;/;0;4;;;C;0;8;L;6;3;/;0;0;;;C;0;8;L;3;3;/;0;8查看分类表>
申请人	EV集团E·索尔纳有限责任公司	申请人地址	奥地利圣弗洛里安变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	EV集团E·索尔纳有限责任公司	当前权利人	EV集团E·索尔纳有限责任公司
发明人	M.舒伊基
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	邵长准;黄念

摘要

本发明涉及用于压印光刻的压印物料。具体地，本发明涉及能够用于压印光刻的可固化压印物料，其由以下的混合物组成：至少一种可聚合主要组分和至少一种次要组分。此外，本发明涉及所述压印物料用于初步形成压印形式(4、4'、4''、4'''、4IV)的用途。

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