霍尔型离子源

发明专利无效专利

申请号：
CN200610098167.1
IPC分类号：H01J27/02;H01J27/14;H01J37/08;H01J49/10
申请日期：
2006-12-05
申请人：
中国科学院合肥物质科学研究院

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	霍尔型离子源
申请号	CN200610098167.1	申请日期	2006-12-05
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-06-11	公开/公告号	CN101197239
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J27/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J27/00 离子束管（H01J 25/00，H01J 33/00，H01J 37/00优先；粒子加速器入H05H） H01J27/02 离子源；离子枪〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;2;7;/;0;2;;;H;0;1;J;2;7;/;1;4;;;H;0;1;J;3;7;/;0;8;;;H;0;1;J;4;9;/;1;0查看分类表>
申请人	中国科学院合肥物质科学研究院	申请人地址	安徽省合肥市1110信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥物质科学研究院	当前权利人	中国科学院合肥物质科学研究院
发明人	邱凯;李新化;钟飞;尹志军;刘敏;王玉琦
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种霍尔型离子源。它的阴极灯丝(1)经灯丝支架(2)和灯丝绝缘座(3)与屏蔽罩上盖(4)固定连接，柱状体阳极(14)上部的内腔为带有一只以上阳极进气口(13)的阳极放电室(12)、下部为内置软铁(16)和磁铁(15)的阳极水冷腔(18)，阳极水冷腔密封法兰(17)与阳极(14)底端间经密封件(20)、螺钉(21)固定连接，其上对应阳极水冷腔(18)两侧处贯通焊接有冷却水进、出水管(10，9)，屏蔽罩(6)经阳极上绝缘垫(5)、阳极下绝缘垫(7)与凸台(23)、阳极水冷腔密封法兰(17)相抵触连接，阳极下绝缘垫(7)中贯通连接有与阳极进气口(13)相接通的进气管(11)。它可用于离子束辅助沉积、清洗和半导体技术中。

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