一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810936502.3
IPC分类号：H05H1/46
申请日期：
2018-08-16
申请人：
清华大学

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专利名称	一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置
申请号	CN201810936502.3	申请日期	2018-08-16
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-28	公开/公告号	CN109104808A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	黄诗洋;张贵新;刘程;邓磊;谢宏
代理机构	北京维正专利代理有限公司	代理人	曹晓斐

摘要

本发明公开了一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，涉及微波等离子体源、微波等离子体激发技术领域，其技术方案要点包括微波波导管、插接在所述微波波导管内的非金属放电管、固定在所述非金属放电管内壁处的辅助激发导体、以及固定在所述微波波导管上且向非金属放电管内通入气体的涡旋气体发生装置；所述辅助激发导体上下两端都位于所述微波波导管内部。能够实现大气压下大体积微波等离子体的激发和维持，并且设计简单，成本低廉，使用寿命长，能实现微波等离子体意外熄灭后的重燃，让微波等离子体的激发更为简单。

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