加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

通用型板舟

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821539836.9
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2018-09-19
  • 申请人:
    扬州扬杰电子科技股份有限公司
著录项信息
专利名称通用型板舟
申请号CN201821539836.9申请日期2018-09-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人扬州扬杰电子科技股份有限公司申请人地址
江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人扬州扬杰电子科技股份有限公司当前权利人扬州扬杰电子科技股份有限公司
发明人李晓佳;王毅
代理机构扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙)代理人周全;葛军
摘要
通用型板舟。涉及用于半导体制造中扩散工艺的板舟,具体涉及对现有板舟的改进。提供了一种结构紧凑,能增加板舟对硅片尺寸适应范围、便于生产管理的通用型板舟。包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒,四只插棒为一组构成限位单元,所述限位单元是:所述插棒按正方形四角位置插接在所述板状舟体的插孔内,处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径,所述限位单元一和限位单元二错位设于舟体上。本实用新型从整体上具有结构紧凑,能增加板舟对硅片尺寸适应范围、便于生产管理的特点。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供