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多个辐射源的等离子体产生和处理

发明专利无效专利

申请号：
CN200710107412.5
IPC分类号：H05H1/46;H01J37/32
申请日期：
2003-05-07
申请人：
BTU国际公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	多个辐射源的等离子体产生和处理
申请号	CN200710107412.5	申请日期	2003-05-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-11-21	公开/公告号	CN101076221
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	BTU国际公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	BTU国际公司	当前权利人	BTU国际公司
发明人	S·库马尔;D·库马尔
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	杨晓光;刘瑞东

摘要

本发明提供了使用多个辐射源的等离子体辅助方法和装置。在一个实施例中，在惰性或活性等离子体催化剂存在的情况下，通过使处理腔中的气体受到频率低于约333GHz的电磁辐射来激发等离子体。使用控制器来延迟一个辐射源相对于另一个辐射源的激活。

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