超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200920093269.3
IPC分类号：G01N3/46;G01B11/16
申请日期：
2009-03-27
申请人：
吉林大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统
申请号	CN200920093269.3	申请日期	2009-03-27
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N3/46 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N3/00 用机械应力测试固体材料的强度特性 G01N3/40 测试硬度或回弹硬度 G01N3/42 用压头在稳定载荷下压印，例如球形压头，棱锥形压头（G01N 3/54优先） G01N3/46 作刮痕动作的压头	IPC分类号	G;0;1;N;3;/;4;6;;;G;0;1;B;1;1;/;1;6查看分类表>
申请人	吉林大学	申请人地址	吉林省长春市前进大街2699号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吉林大学	当前权利人	吉林大学
发明人	赵宏伟;黄虎;邓金强;赵宏健
代理机构	长春吉大专利代理有限责任公司	代理人	朱世林;王寿珍

摘要

本实用新型涉及一种集驱动、加载、检测、微纳米级力学性能测试、超精密刻划加工和原位观察为一体的超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统。该系统主要由沿X、Y轴方向精密定位的载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、用于观测存储测试过程中材料变形、损伤状况的高分辨率数字显微成像系统组成；载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元均装配在底座上，高分辨率数字显微成像系统装在载物台上，检测金刚石工具头压入材料压力的精密力学传感器和检测X、Y方向载物台精密位移的传感器I装在载物台上，用于检测压入深度Z方向金刚石工具头精密位移的传感器II通过支架I安装在底座上。

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