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离子注入系统及利用该系统的离子注入方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110120191.1
IPC分类号：H01J37/317
申请日期：
2011-05-06
申请人：
三星移动显示器株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	离子注入系统及利用该系统的离子注入方法
申请号	CN201110120191.1	申请日期	2011-05-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-16	公开/公告号	CN102456530A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7查看分类表>
申请人	三星移动显示器株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星显示有限公司	当前权利人	三星显示有限公司
发明人	金玄圭;金相洙
代理机构	北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司	代理人	余朦;王艳春

摘要

本发明涉及可向大面积基板注入离子并且可以节省制造成本的离子注入系统以及利用该系统的离子注入方法。

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